Эпитаксия карбида кремния (SiC)
Эпитаксиальный лоток, на котором находится подложка SiC для выращивания эпитаксиального среза SiC, помещен в реакционную камеру и непосредственно контактирует с пластиной.
Верхняя часть полумесяца является носителем для других принадлежностей реакционной камеры эпитаксионного оборудования Sic, а нижняя часть полумесяца соединена с кварцевой трубкой, подавая газ, приводящий во вращение основание токоприемника. они регулируются по температуре и устанавливаются в реакционной камере без прямого контакта с пластиной.
Si эпитаксия
Лоток, на котором находится подложка Si для выращивания эпитаксиального среза Si, помещен в реакционную камеру и непосредственно контактирует с пластиной.
Кольцо предварительного нагрева расположено на внешнем кольце лотка для эпитаксиальной подложки Si и используется для калибровки и нагрева. Он помещается в реакционную камеру и не контактирует напрямую с пластиной.
Эпитаксиальный токоприемник, удерживающий подложку Si для выращивания эпитаксиального среза Si, помещается в реакционную камеру и непосредственно контактирует с пластиной.
Эпитаксиальный цилиндр является ключевым компонентом, используемым в различных процессах производства полупроводников, обычно используемых в оборудовании MOCVD, с превосходной термической стабильностью, химической стойкостью и износостойкостью, очень подходящим для использования в высокотемпературных процессах. Он контактирует с пластинами.
| Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния | |
| Свойство | Типичное значение |
| Рабочая температура (°С) | 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда) |
| содержание карбида кремния | > 99,96% |
| Бесплатный Si-контент | <0,1% |
| Объемная плотность | 2,60-2,70 г/см3 |
| Кажущаяся пористость | < 16% |
| Сила сжатия | > 600 МПа |
| Прочность на холодный изгиб | 80-90 МПа (20°С) |
| Прочность на горячий изгиб | 90-100 МПа (1400°С) |
| Тепловое расширение при 1500°C | 4,70 10-6/°С |
| Теплопроводность при 1200°C | 23 Вт/м•К |
| Модуль упругости | 240 ГПа |
| Устойчивость к термическому удару | Очень хорошо |
| Физические свойства спеченного карбида кремния | |
| Свойство | Типичное значение |
| Химический состав | SiC>95%, Si<5% |
| Объемная плотность | >3,07 г/см³ |
| Кажущаяся пористость | <0,1% |
| Модуль разрыва при 20℃ | 270 МПа |
| Модуль разрыва при 1200 ℃ | 290 МПа |
| Твердость при 20 ℃ | 2400 кг/мм² |
| Вязкость разрушения при 20% | 3,3 МПа·м1/2 |
| Теплопроводность при 1200 ℃ | 45 Вт/м .К |
| Тепловое расширение при 20-1200 ℃ | 4,5 1 ×10 -6/℃ |
| Макс.рабочая температура | 1400℃ |
| Устойчивость к термическому удару при 1200 ℃ | Хороший |
| Основные физические свойства пленок CVD SiC | |
| Свойство | Типичное значение |
| Кристаллическая структура | FCC β-фаза поликристаллическая, преимущественно (111) ориентированная |
| Плотность | 3,21 г/см³ |
| Твердость 2500 | (загрузка 500 г) |
| Размер зерна | 2~10 мкм |
| Химическая чистота | 99,99995% |
| Теплоемкость | 640 Дж·кг-1·К-1 |
| Температура сублимации | 2700℃ |
| изгибная прочность | 415 МПа РТ 4-точечный |
| Модуль Юнга | 430 ГПа, 4-точечный изгиб, 1300 ℃ |
| Теплопроводность | 300 Вт·м-1·К-1 |
| Тепловое расширение (КТР) | 4,5×10-6 K -1 |
Основные особенности
Поверхность плотная, без пор.
Высокая чистота, общее содержание примесей <20 ppm, хорошая воздухонепроницаемость.
Высокая термостойкость, прочность увеличивается с увеличением температуры использования, достигая максимального значения при 2750 ℃, сублимация при 3600 ℃.
Низкий модуль упругости, высокая теплопроводность, низкий коэффициент теплового расширения и отличная устойчивость к термическому удару.
Хорошая химическая стабильность, устойчивость к кислотам, щелочам, солям и органическим реагентам, не влияет на расплавленные металлы, шлак и другие агрессивные среды. Он практически не окисляется в атмосфере при температуре ниже 400 C, а скорость окисления значительно увеличивается при 800 ℃.
Не выделяя газа при высоких температурах, он может поддерживать вакуум 10-7 мм рт.ст. при температуре около 1800°C.
Применение продукта
Плавильный тигель для испарения в полупроводниковой промышленности.
Электронные затворы высокой мощности.
Щетка, контактирующая с регулятором напряжения.
Графитовый монохроматор для рентгеновских лучей и нейтронов.
Различные формы графитовых подложек и покрытия атомно-абсорбционных трубок.
Эффект пиролитического углеродного покрытия под 500-кратным микроскопом с неповрежденной и герметичной поверхностью.
Покрытие TaC представляет собой устойчивый к высоким температурам материал нового поколения с лучшей термостойкостью, чем SiC. В качестве антикоррозионного покрытия, антиокислительного покрытия и износостойкого покрытия можно использовать в среде выше 2000C, широко используемого в аэрокосмических сверхвысоких температурах горячих частей, полях выращивания полупроводниковых монокристаллов третьего поколения.
| Физические свойства покрытия TaC | |
| Плотность | 14,3 (г/см3) |
| Удельная излучательная способность | 0,3 |
| Коэффициент теплового расширения | 6,3 10/К |
| Твердость (ГК) | 2000 Гонконг |
| Сопротивление | 1х10-5 Ом*см |
| Термическая стабильность | <2500 ℃ |
| Изменение размера графита | -10~-20ум |
| Толщина покрытия | Типичное значение ≥220 мкм (35 мкм±10 мкм) |
Детали из твердого CVD-КАРБИДА КРЕМНИЯ признаны основным выбором для колец и оснований RTP/EPI, а также деталей полостей плазменного травления, которые работают при высоких требуемых для системы рабочих температурах (> 1500 ° C), требования к чистоте особенно высоки (> 99,9995 %). и эффективность особенно хороша, когда стойкость к химическим веществам особенно высока. Эти материалы не содержат вторичных фаз по краям зерен, поэтому их компоненты образуют меньше частиц, чем другие материалы. Кроме того, эти компоненты можно очищать с помощью горячего HF/HCI с небольшим ухудшением качества, что приводит к уменьшению количества частиц и увеличению срока службы.
