Преимущества обработки LMJ
Неизбежные дефекты обычной лазерной обработки можно преодолеть за счет разумного использования лазерной микроструйной технологии (LMJ) для распространения оптических характеристик воды и воздуха. Эта технология позволяет лазерным импульсам, полностью отраженным в обрабатываемой струе воды высокой чистоты, беспрепятственно достигать обрабатываемой поверхности, как в оптическом волокне.
Основными особенностями технологии LMJ являются:
1. Лазерный луч представляет собой столбчатую (параллельную) структуру.
2. Лазерный импульс передается в водной струе, как по оптоволокну, без каких-либо помех со стороны окружающей среды.
3. Лазерный луч фокусируется в оборудовании LMJ, а высота обрабатываемой поверхности не меняется в течение всего процесса обработки, поэтому нет необходимости продолжать фокусировку с изменением глубины обработки в процессе обработки.
4. Постоянно очищайте поверхность.
5. В дополнение к абляции материала заготовки каждым лазерным импульсом, каждую единицу времени от начала каждого импульса до следующего импульса, обрабатываемый материал находится в состоянии охлаждающей воды в реальном времени около 99% времени. , что практически исключает зону термического влияния и слой переплава, но сохраняет высокую эффективность обработки.
| Общая спецификация | LCSA-100 | LCSA-200 |
| Объем столешницы | 125 х 200 х 100 | 460×460×300 |
| Линейная ось XY | Линейный двигатель. Линейный двигатель | Линейный двигатель. Линейный двигатель |
| Линейная ось Z | 100 | 300 |
| Точность позиционирования мкм | +/- 5 | +/- 3 |
| Точность повторного позиционирования мкм | +/- 2 | +/- 1 |
| Ускорение G | 0,5 | 1 |
| Числовое управление | 3-осевой | 3-осевой |
| Lасер |
|
|
| Тип лазера | ДПСС Nd: YAG | DPSS Nd: YAG, импульсный |
| Длина волны, нм | 532/1064 | 532/1064 |
| Номинальная мощность Вт | 50/100/200 | 200/400 |
| Водяная струя |
|
|
| Диаметр сопла мкм | 25-80 | 25-80 |
| Давление сопла, бар | 100-600 | 0-600 |
| Размер/Вес |
|
|
| Размеры (машина) (Ш х Д х В) | 1050 х 800 х 1870 | 1200 х 1200 х 2000 |
| Размеры (шкаф управления) (Ш х Д х В) | 700 х 2300 х 1600 | 700 х 2300 х 1600 |
| Масса (оборудования) кг | 1170 | 2500-3000 |
| Масса (шкаф управления), кг | 700-750 | 700-750 |
| Комплексное энергопотребление |
|
|
| Iввод | 230 В переменного тока +6%/-10%, однонаправленный, 50/60 Гц ±1% | 400 В переменного тока +6%/-10%, 3-фазный, 50/60 Гц ±1% |
| Пиковое значение | 2,5 кВА | 2,5 кВА |
| Jмонета | Кабель питания длиной 10 м: P+N+E, 1,5 мм2 | Кабель питания длиной 10 м: P+N+E, 1,5 мм2 |
| Область применения в полупроводниковой промышленности | Круглый слиток ≤4 дюймов кусочки слитков ≤4 дюймов Разметка слитков ≤4 дюймов
| ≤6 дюймов круглый слиток кусочки слитка ≤6 дюймов Разметка слитков ≤6 дюймов Машина соответствует 8-дюймовому теоретическому значению круговой/нарезки/нарезки, и конкретные практические результаты должны быть оптимизированы для стратегии резки. |
