Si Substrate от Semicera является важным компонентом в производстве высокопроизводительных полупроводниковых приборов. Эта подложка, изготовленная из кремния высокой чистоты (Si), обеспечивает исключительную однородность, стабильность и отличную проводимость, что делает ее идеальной для широкого спектра передовых приложений в полупроводниковой промышленности. Независимо от того, используется ли подложка Semicera Si в производстве кремниевой пластины, SiC-подложки, SOI-подложки или SiN-подложки, она обеспечивает стабильное качество и превосходную производительность, отвечая растущим требованиям современной электроники и материаловедения.
Непревзойденная производительность, высокая чистота и точность
Si-субстрат Semicera производится с использованием передовых процессов, которые обеспечивают высокую чистоту и строгий контроль размеров. Подложка служит основой для производства различных высокопроизводительных материалов, включая эпи-вафли и пластины AlN. Точность и однородность кремниевой подложки делают ее отличным выбором для создания тонкопленочных эпитаксиальных слоев и других важных компонентов, используемых в производстве полупроводников следующего поколения. Независимо от того, работаете ли вы с оксидом галлия (Ga2O3) или другими современными материалами, Si-подложка Semicera обеспечивает высочайший уровень надежности и производительности.
Применение в производстве полупроводников
В полупроводниковой промышленности Si-подложка от Semicera используется в широком спектре применений, включая производство Si-подложек и SiC-подложек, где она обеспечивает стабильную и надежную основу для нанесения активных слоев. Подложка играет решающую роль в изготовлении пластин SOI (кремний на изоляторе), которые необходимы для современной микроэлектроники и интегральных схем. Кроме того, эпитаксиальные пластины (эпитаксиальные пластины), построенные на кремниевых подложках, являются неотъемлемой частью производства высокопроизводительных полупроводниковых устройств, таких как силовые транзисторы, диоды и интегральные схемы.
Si Substrate также поддерживает производство устройств с использованием оксида галлия (Ga2O3), многообещающего широкозонного материала, используемого для мощных приложений в силовой электронике. Кроме того, совместимость Si Substrate Semicera с пластинами AlN и другими современными подложками гарантирует, что он может удовлетворить разнообразные требования высокотехнологичных отраслей, что делает его идеальным решением для производства передовых устройств в телекоммуникационном, автомобильном и промышленном секторах. .
Надежное и стабильное качество для высокотехнологичных приложений
Подложка Si от Semicera тщательно разработана для удовлетворения строгих требований производства полупроводников. Его исключительная структурная целостность и высококачественные свойства поверхности делают его идеальным материалом для использования в кассетных системах для транспортировки пластин, а также для создания высокоточных слоев в полупроводниковых устройствах. Способность подложки сохранять стабильное качество в различных условиях процесса обеспечивает минимальные дефекты, повышая выход и характеристики конечного продукта.
Благодаря превосходной теплопроводности, механической прочности и высокой чистоте кремниевая подложка Semicera является предпочтительным материалом для производителей, стремящихся достичь самых высоких стандартов точности, надежности и производительности в производстве полупроводников.
Выбирайте Si-подложку Semicera для получения высокочистых и высокопроизводительных решений
Для производителей полупроводниковой промышленности Si Substrate от Semicera предлагает надежное и высококачественное решение для широкого спектра применений: от производства кремниевых пластин до создания Epi-подложек и пластин SOI. Благодаря непревзойденной чистоте, точности и надежности эта подложка позволяет производить самые современные полупроводниковые устройства, обеспечивая долгосрочную работу и оптимальную эффективность. Выберите Semicera для своих потребностей в подложках Si и доверьтесь продукту, разработанному для удовлетворения требований технологий завтрашнего дня.
| Предметы | Производство | Исследовать | Дурачок |
| Параметры кристалла | |||
| Политип | 4H | ||
| Ошибка ориентации поверхности | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрические параметры | |||
| легирующая примочка | Азот n-типа | ||
| Удельное сопротивление | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механические параметры | |||
| Диаметр | 150,0±0,2 мм | ||
| Толщина | 350±25 мкм | ||
| Первичная плоская ориентация | [1-100]±5° | ||
| Первичная плоская длина | 47,5±1,5 мм | ||
| Вторичная квартира | Никто | ||
| ТТВ | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| Общая ценность | ≤3 мкм (5 мм*5 мм) | ≤5 мкм (5 мм*5 мм) | ≤10 мкм (5 мм*5 мм) |
| Поклон | -15 мкм ~ 15 мкм | -35 мкм ~ 35 мкм | -45 мкм ~ 45 мкм |
| Деформация | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Шероховатость передней поверхности (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Структура | |||
| Плотность микротрубок | <1 шт./см2 | <10 шт/см2 | <15 шт/см2 |
| Металлические примеси | ≤5E10атомов/см2 | NA | |
| БЛД | ≤1500 шт/см2 | ≤3000 шт/см2 | NA |
| ТСД | ≤500 шт/см2 | ≤1000 шт/см2 | NA |
| Переднее качество | |||
| Передний | Si | ||
| Чистота поверхности | Si-лицо CMP | ||
| Частицы | ≤60 шт/пластина (размер≥0,3 мкм) | NA | |
| Царапины | ≤5 шт./мм. Совокупная длина ≤Диаметр | Совокупная длина≤2*диаметр | NA |
| Апельсиновая корка/косточки/пятна/бороздки/трещины/загрязнения | Никто | NA | |
| Краевые сколы/вмятины/изломы/шестигранные пластины | Никто | ||
| Политипные области | Никто | Совокупная площадь≤20% | Совокупная площадь≤30% |
| Передняя лазерная маркировка | Никто | ||
| Назад Качество | |||
| Задняя отделка | C-образная грань CMP | ||
| Царапины | ≤5 шт./мм, совокупная длина≤2*диаметр | NA | |
| Дефекты задней стороны (сколы/вмятины по краям) | Никто | ||
| Задняя шероховатость | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Задняя лазерная маркировка | 1 мм (от верхнего края) | ||
| Край | |||
| Край | Фаска | ||
| Упаковка | |||
| Упаковка | Готовность к эпидемии в вакуумной упаковке Многовафельная кассетная упаковка | ||
| *Примечания: «NA» означает отсутствие запроса. Неуказанные элементы могут относиться к SEMI-STD. | |||






