Основные функции опор для лодок из карбида кремния и кварцевых опор для лодок одинаковы. Опора для лодок из карбида кремния имеет отличные характеристики, но высокую цену. Это представляет собой альтернативу поддержке кварцевых лодочек в оборудовании для обработки аккумуляторов с тяжелыми условиями работы (например, в оборудовании LPCVD и в оборудовании для диффузии бора). В оборудовании для обработки аккумуляторов с обычными условиями работы из-за ценовых соотношений опоры из карбида кремния и кварца становятся сосуществующими и конкурирующими категориями.
① Соотношение замещения в LPCVD и бордиффузионном оборудовании.
Оборудование LPCVD используется для туннельного окисления аккумуляторных элементов и процесса подготовки слоя легированного поликремния. Принцип работы:
В атмосфере низкого давления в сочетании с соответствующей температурой химическая реакция и образование пленки осаждения достигаются для получения ультратонкого туннельного оксидного слоя и пленки поликремния. В процессе туннельного окисления и подготовки слоя легированного поликремния опора лодочки имеет высокую рабочую температуру, и на поверхность осаждается кремниевая пленка. Коэффициент теплового расширения кварца сильно отличается от коэффициента теплового расширения кремния. При использовании в вышеуказанном процессе необходимо регулярно травить, чтобы удалить кремний, осажденный на поверхности, чтобы предотвратить разрушение кварцевой опоры лодочки из-за теплового расширения и сжатия из-за другого коэффициента теплового расширения кремния. Из-за частого травления и низкой жаропрочности кварцевый держатель лодочки имеет короткий срок службы и часто заменяется в процессе туннельного окисления и подготовки слоя легированного поликремния, что значительно увеличивает себестоимость аккумуляторного элемента. Коэффициент расширения карбида кремния близок к коэффициенту расширения кремния. В процессе туннельного окисления и подготовки слоя легированного поликремния встроенный держатель лодочки из карбида кремния не требует травления, обладает высокой жаропрочностью и длительным сроком службы и является хорошей альтернативой кварцевому держателю лодочки.
Оборудование для расширения бора в основном используется для процесса легирования борными элементами на подложке кремниевой пластины N-типа аккумуляторного элемента для подготовки эмиттера P-типа для формирования PN-перехода. Принцип работы заключается в реализации химической реакции и формировании пленки молекулярного осаждения в высокотемпературной атмосфере. После того, как пленка сформирована, ее можно диффундировать путем высокотемпературного нагрева, чтобы реализовать функцию легирования поверхности кремниевой пластины. Из-за высокой рабочей температуры борного расширительного оборудования кварцевый держатель лодочки имеет низкую жаропрочность и небольшой срок службы в борном расширительном оборудовании. Встроенный держатель лодочки из карбида кремния обладает высокой жаропрочностью и является хорошей альтернативой кварцевому держателю лодочки в процессе расширения бора.
② Отношения замены в другом технологическом оборудовании
Опоры для лодок из карбида кремния обладают высокой производительностью и отличными эксплуатационными характеристиками. Их цена обычно выше, чем у кварцевых опор для лодок. В общих условиях работы оборудования для обработки ячеек разница в сроке службы между опорами для лодочек из карбида кремния и кварцевыми опорами для лодочек невелика. Потребители нижнего сегмента в основном сравнивают и выбирают между ценой и производительностью, основываясь на своих собственных процессах и потребностях. Опоры для лодок из карбида кремния и кварцевые опоры для лодок стали сосуществовать и конкурентоспособны. Однако валовая прибыль от производства опор для лодок из карбида кремния в настоящее время относительно высока. При снижении себестоимости производства опор для лодок из SiC, если продажная цена опор для лодок из SiC активно снижается, это также повысит конкурентоспособность кварцевых опор для лодок.
(2) Коэффициент использования
Маршрут клеточных технологий – это, главным образом, технологии PERC и TOPCon. Доля рынка технологии PERC составляет 88%, а доля рынка технологии TOPCon — 8,3%. Их совокупная рыночная доля составляет 96,30%.
Как показано на рисунке ниже:
В технологии PERC для процессов фронтальной диффузии фосфора и отжига необходимы опоры-лодочки. В технологии TOPCon опоры-лодочки необходимы для процессов передней диффузии бора, LPCVD, обратной диффузии фосфора и отжига. В настоящее время опоры лодочек из карбида кремния в основном используются в процессе LPCVD технологии TOPCon, а их применение в процессе диффузии бора в основном проверено.
Рисунок Применение опор для лодок в процессе обработки клеток:
Примечание. После нанесения переднего и заднего покрытия по технологиям PERC и TOPCon все еще выполняются такие этапы, как трафаретная печать, спекание, тестирование и сортировка, которые не требуют использования опор для лодок и не перечислены на рисунке выше.
(3) Тенденция будущего развития
В будущем, под влиянием комплексных преимуществ опор для лодок из карбида кремния, постоянного расширения числа клиентов, а также снижения затрат и повышения эффективности фотоэлектрической промышленности, ожидается, что доля рынка опор для лодок из карбида кремния будет продолжать увеличиваться.
① В рабочей среде оборудования LPCVD и диффузионного бора комплексные характеристики опор для лодок из карбида кремния лучше, чем у кварцевых, и имеют длительный срок службы.
② Расширение клиентской базы производителей опор для лодок из карбида кремния, представленных компанией, происходит гладко. Многие клиенты в отрасли, такие как North Huachuang, Songyu Technology и Qihao New Energy, начали использовать опоры для лодок из карбида кремния.
③ Снижение затрат и повышение эффективности всегда были целью фотоэлектрической промышленности. Экономия затрат за счет крупномасштабных аккумуляторных элементов является одним из проявлений снижения затрат и повышения эффективности в фотоэлектрической промышленности. С появлением тенденции к использованию более крупных аккумуляторных элементов преимущества опор для лодок из карбида кремния, обусловленные их хорошими комплексными характеристиками, станут более очевидными.
Время публикации: 04 ноября 2024 г.