Изделия из карбида кремния высокой чистоты

SiC вафельная лодка

Лодочка из карбида кремнияпредставляет собой несущее устройство для пластин, в основном используемое в процессах диффузии солнечной энергии и полупроводников.Он обладает такими характеристиками, как износостойкость, коррозионная стойкость, ударопрочность при высоких температурах, устойчивость к плазменной бомбардировке, несущая способность при высоких температурах, высокая теплопроводность, высокая теплоотдача и длительное использование, которое нелегко сгибать и деформировать.Наша компания использует материал из карбида кремния высокой чистоты для обеспечения срока службы и предоставляет индивидуальные конструкции, в том числе.различные вертикальные и горизонтальныевафельный кораблик.

SiC весло

Консольная лопасть из карбида кремнияв основном используется при (диффузионном) покрытии кремниевых пластин, что играет решающую роль при загрузке и транспортировке кремниевых пластин при высокой температуре.Это ключевой компонентполупроводниковая пластинасистем загрузки и имеет следующие основные характеристики:

1. Он не деформируется в условиях высоких температур и имеет высокую силу нагрузки на пластины;

2. Он устойчив к сильному холоду и быстрому нагреву и имеет длительный срок службы;

3. Коэффициент теплового расширения невелик, что значительно продлевает цикл обслуживания и очистки, а также значительно снижает количество загрязняющих веществ.

SiC печная трубка

Технологическая трубка из карбида кремнияИзготовлен из карбида кремния высокой чистоты без металлических примесей, не загрязняет пластину и подходит для таких процессов, как полупроводниковая и фотоэлектрическая диффузия, процесс отжига и окисления.

SiC робот-манипулятор

Карбидно-карбидный робот-манипулятор, также известный как концевой эффектор переноса пластин, представляет собой роботизированную руку, используемую для транспортировки полупроводниковых пластин и широко используемую в полупроводниковой, оптоэлектронной и солнечной энергетической промышленности.Использование карбида кремния высокой чистоты, высокой твердости, износостойкости, сейсмостойкости, длительного использования без деформации, длительного срока службы и т. д. позволяет предоставлять индивидуальные услуги.

Графит для выращивания кристаллов

1

Графитовый трехлепестковый тигель

3

Графитовая направляющая трубка

4

Графитовое кольцо

5

Графитовый теплозащитный экран

6

Графитовая электродная трубка

7

Графитовый дефлектор

8

Графитовый патрон

Все процессы, используемые для выращивания полупроводниковых кристаллов, работают в высокотемпературных и агрессивных средах.Горячая зона печи для выращивания кристаллов обычно имеет жаростойкую и коррозионностойкую высокую чистоту.графитовые компоненты, такие как графитовые нагреватели, тигли, цилиндры, дефлекторы, патроны, трубки, кольца, держатели, гайки и т. д. Наш готовый продукт может иметь зольность менее 5 частей на миллион.

Графит для эпитаксии полупроводников

Графитовая основа

Графитовый эпитаксиальный ствол

13

Силиконовая эпитаксиальная база Monocry Stalline

15

MOCVD графитовые детали

14

Полупроводниковый графитовый светильник

Эпитаксиальный процесс относится к выращиванию монокристаллического материала на монокристаллической подложке с тем же расположением решетки, что и подложка.Для этого требуется множество деталей из графита сверхвысокой чистоты и графитовая основа с покрытием SIC.Графит высокой чистоты, используемый для эпитаксии полупроводников, имеет широкий спектр применения, который может соответствовать наиболее часто используемому оборудованию в промышленности. В то же время он имеет чрезвычайно высокий уровень чистоты.чистота, равномерное покрытие, превосходный срок службы, чрезвычайно высокая химическая стойкость и термическая стабильность.

Изоляционный материал и другое

Теплоизоляционными материалами, используемыми в производстве полупроводников, являются твердый графитовый войлок, мягкий войлок, графитовая фольга, углеродные композиционные материалы и т. д. Наше сырье представляет собой импортные графитовые материалы, которые можно разрезать по спецификациям клиентов, а также продавать в виде весь.Углеродный композитный материал обычно используется в качестве носителя в процессе производства солнечных монокристаллов и поликремниевых элементов.

Напишите здесь свое сообщение и отправьте его нам