Передняя часть производственной линии похожа на закладку фундамента и строительство стен дома. В производстве полупроводников этот этап предполагает создание базовых структур и транзисторов на кремниевой пластине.
Ключевые шаги FEOL:
1. Очистка:Начните с тонкой кремниевой пластины и очистите ее от загрязнений.
2. Окисление:Вырастите слой диоксида кремния на пластине, чтобы изолировать разные части чипа.
3. Фотолитография:Используйте фотолитографию, чтобы выгравировать узоры на пластине, подобно рисованию чертежей светом.
4. Офорт:Вытравите нежелательный диоксид кремния, чтобы выявить желаемые узоры.
5. Допинг:Вводите примеси в кремний, чтобы изменить его электрические свойства, создавая транзисторы — фундаментальные строительные блоки любого чипа.
Середина конца линии (MEOL): соединение точек
Середина производственной линии похожа на монтаж электропроводки и водопровода в доме. На этом этапе основное внимание уделяется установлению связей между транзисторами, созданными на этапе FEOL.
Ключевые этапы MEOL:
1. Диэлектрическое осаждение:Нанесите изолирующие слои (называемые диэлектриками) для защиты транзисторов.
2. Формирование контактов:Сформируйте контакты для соединения транзисторов друг с другом и внешним миром.
3. Межсоединение:Добавьте металлические слои, чтобы создать пути для электрических сигналов, аналогичные проводке в доме, чтобы обеспечить бесперебойную передачу электроэнергии и данных.
Задняя часть линии (BEOL): последние штрихи
-
Завершающая часть производственной линии — это как добавление последних штрихов к дому: установка светильников, покраска и проверка того, что все работает. В производстве полупроводников этот этап включает нанесение последних слоев и подготовку чипа к упаковке.
Ключевые шаги BEOL:
1. Дополнительные металлические слои:Добавьте несколько металлических слоев для улучшения взаимосвязи, гарантируя, что чип сможет справляться со сложными задачами и на высоких скоростях.
2. Пассивация:Нанесите защитные слои, чтобы защитить чип от вредного воздействия окружающей среды.
3. Тестирование:Подвергните чип тщательному тестированию, чтобы убедиться, что он соответствует всем спецификациям.
4. Нарезка кубиками:Разрежьте пластину на отдельные чипы, каждый из которых готов к упаковке и использованию в электронных устройствах.
Время публикации: 08 июля 2024 г.