Все тонкие пленки, используемые в производстве полупроводников, обладают сопротивлением, а сопротивление пленки напрямую влияет на производительность устройства. Обычно мы не измеряем абсолютное сопротивление пленки, а используем для ее характеристики поверхностное сопротивление.
Что такое поверхностное сопротивление и объемное сопротивление?
Объемное сопротивление, также известное как объемное сопротивление, представляет собой неотъемлемое свойство материала, которое характеризует, насколько материал препятствует протеканию электрического тока. Обычно используемый символ ρ означает, что единицей измерения является Ом.
Сопротивление листа, также известное как сопротивление листа, английское название — сопротивление листа, которое относится к значению сопротивления пленки на единицу площади. Обычно используются символы Rs или ρs для обозначения единицы измерения: Ω/кв. или Ω/□.
Соотношение между ними следующее: поверхностное сопротивление = объемное сопротивление/толщина пленки, то есть Rs = ρ/t.
Зачем измерять поверхностное сопротивление?
Измерение абсолютного сопротивления пленки требует точного знания геометрических размеров пленки (длины, ширины, толщины), которые имеют множество переменных и очень сложны для очень тонких пленок или пленок неправильной формы. Сопротивление листа зависит только от толщины пленки и может быть быстро и напрямую проверено без сложных расчетов размеров.
На каких пленках необходимо измерять поверхностное сопротивление?
Как правило, проводящие пленки и полупроводниковые пленки необходимо измерять на квадратное сопротивление, тогда как изолирующие пленки измерять не нужно.
При легировании полупроводников также измеряется поверхностное сопротивление кремния.
Как измерить сопротивление квадрата?
В промышленности обычно используется четырехзондовый метод. Четырехзондовый метод позволяет измерять прямоугольное сопротивление в диапазоне от 1E-3 до 1E+9 Ом/кв. Четырехзондовый метод позволяет избежать ошибок измерения из-за контактного сопротивления между зондом и образцом.
Методы измерения:
1) Установите четыре линейно расположенных зонда на поверхность образца.
2) Подайте постоянный ток между двумя внешними датчиками.
3) Определите сопротивление, измерив разность потенциалов между двумя внутренними датчиками.
RS: сопротивление листа
ΔV: изменение напряжения, измеренного между внутренними датчиками.
I: Ток, подаваемый между внешними датчиками.
Время публикации: 29 марта 2024 г.