Как измерить поверхностное сопротивление тонкой пленки?

Все тонкие пленки, используемые в производстве полупроводников, обладают сопротивлением, а сопротивление пленки напрямую влияет на производительность устройства. Обычно мы не измеряем абсолютное сопротивление пленки, а используем для ее характеристики поверхностное сопротивление.

Что такое поверхностное сопротивление и объемное сопротивление?

Объемное сопротивление, также известное как объемное сопротивление, представляет собой неотъемлемое свойство материала, которое характеризует, насколько материал препятствует протеканию электрического тока. Обычно используемый символ ρ означает, что единицей измерения является Ом.

Сопротивление листа, также известное как сопротивление листа, английское название — сопротивление листа, которое относится к значению сопротивления пленки на единицу площади. Обычно используемые символы Rs или ρs обозначают единицу измерения: Ом/кв. или Ом/□.

0

Соотношение между ними следующее: поверхностное сопротивление = объемное сопротивление/толщина пленки, то есть Rs = ρ/t.

Зачем измерять поверхностное сопротивление?

Измерение абсолютного сопротивления пленки требует точного знания геометрических размеров пленки (длины, ширины, толщины), которые имеют множество переменных и очень сложны для очень тонких пленок или пленок неправильной формы. Сопротивление листа зависит только от толщины пленки и может быть быстро и напрямую проверено без сложных расчетов размеров.

На каких пленках необходимо измерять поверхностное сопротивление?

Как правило, проводящие и полупроводниковые пленки необходимо измерять на квадратное сопротивление, в то время как изолирующие пленки измерять не нужно.
При легировании полупроводников также измеряется поверхностное сопротивление кремния.

0 (1)

 

 

Как измерить сопротивление квадрата?

В промышленности обычно используется четырехзондовый метод. Четырехзондовый метод позволяет измерять прямоугольное сопротивление в диапазоне от 1E-3 до 1E+9 Ом/кв. Четырехзондовый метод позволяет избежать ошибок измерения из-за контактного сопротивления между зондом и образцом.

0 (2)

 

Методы измерения:


1) Установите четыре линейно расположенных зонда на поверхность образца.
2) Подайте постоянный ток между двумя внешними датчиками.
3) Определите сопротивление, измерив разность потенциалов между двумя внутренними датчиками.

0

 

▪ РС:листовое сопротивление
ΔВ:Изменение напряжения, измеренного между внутренними датчиками
I:Ток, приложенный между внешними датчиками


Время публикации: 29 марта 2024 г.