МОКВДЭтот метод является одним из наиболее стабильных процессов, используемых в настоящее время в промышленности для выращивания высококачественных монокристаллических тонких пленок, таких как однофазные слои InGaN, материалы III-N и полупроводниковые пленки со структурами с несколькими квантовыми ямами, и имеет большое значение в производство полупроводниковых и оптоэлектронных приборов.
SiC-покрытие MOCVD-приемникапредставляет собой специализированный держатель пластин, покрытый карбидом кремния (SiC) дляэпитаксиальный рост в процессе химического осаждения металлоорганических соединений из паровой фазы (MOCVD).
Покрытие SiC обладает превосходной химической стойкостью и термической стабильностью, что делает его идеальным выбором для токоприемников MOCVD, используемых в сложных процессах эпитаксиального выращивания.
Ключевым компонентом процесса MOCVD является токоприемник, который является ключевым элементом, обеспечивающим однородность и качество получаемых тонких пленок.
Что такое суцептор? Суцептор — это специализированный компонент, используемый в процессе MOCVD для поддержки и нагрева подложки, на которую наносится тонкая пленка. Он выполняет множество функций, включая поглощение электромагнитной энергии, преобразование ее в тепло и равномерное распределение тепла на подложке. Равномерный нагрев необходим для выращивания однородных тонких пленок точной толщины и состава.
Типы суцепторов:
1. Графитовые рецепторы. Графитовые рецепторы часто покрыты защитным слоем, напримеркарбид кремния (SiC), который известен своей высокой теплопроводностью и стабильностью.SiC-покрытиеобеспечивает твердую защитную поверхность, устойчивую к коррозии и разрушению при высоких температурах.
2. Токоприемники из карбида кремния (SiC). Эти токоприемники полностью изготовлены из SiC и обладают превосходной термической стабильностью и износостойкостью. Суцепторы SiC особенно подходят для высокотемпературных процессов и агрессивных сред.
Как работают суцепторы в MOCVD:
В процессе MOCVD прекурсоры вводятся в реакционную камеру, где они разлагаются и вступают в реакцию с образованием тонкой пленки на подложке. Токоприемник играет жизненно важную роль, обеспечивая равномерный нагрев подложки, что имеет решающее значение для достижения стабильных свойств пленки по всей поверхности подложки. Материал и конструкция токоприемника тщательно выбираются с учетом конкретных требований процесса осаждения, таких как температурный диапазон и химическая совместимость.
Преимущества использования качественных токоприемников:
• Улучшенное качество пленки. Обеспечивая равномерное распределение тепла, токоприемник помогает получать пленки одинаковой толщины и состава, что имеет решающее значение для производительности полупроводниковых устройств.
• Повышение эффективности процесса: высококачественные токоприемники повышают общую эффективность процесса MOCVD за счет снижения вероятности появления дефектов и увеличения выхода годных к употреблению пленок.
• Срок службы и надежность. Токоприемники изготовлены из прочных материалов, таких как карбид кремния, что обеспечивает долгосрочную надежность и снижает затраты на техническое обслуживание.
Суцептор является неотъемлемым компонентом процесса MOCVD и напрямую влияет на качество и эффективность осаждения тонких пленок. Для получения дополнительной информации о доступных размерах, токоприемниках MOCVD и ценах, пожалуйста, свяжитесь с нами. Наши инженеры будут рады проконсультировать вас по подходящим материалам и ответить на все ваши вопросы.
Телефон: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Время публикации: 12 августа 2024 г.