В области производства полупроводниковMOCVD (химическое осаждение металлоорганических соединений из паровой фазы)технология быстро становится ключевым процессом, при этомMOCVD вафельный носительявляется одним из его основных компонентов. Достижения MOCVD Wafer Carrier отражаются не только в производственном процессе, но также в широком спектре сценариев применения и потенциале будущего развития.
Расширенный процесс
В держателе пластин MOCVD используется графитовый материал высокой чистоты, который благодаря точной обработке и технологии покрытия SiC CVD (химическое осаждение из паровой фазы) обеспечивает оптимальные характеристики пластин приMOCVD-реакторы. Этот графитовый материал высокой чистоты обладает превосходной термической однородностью и возможностью быстрого температурного цикла, что обеспечивает более высокий выход продукции и более длительный срок службы в процессе MOCVD. Кроме того, конструкция держателя пластин MOCVD учитывает необходимость обеспечения однородности температуры и быстрого нагрева и охлаждения, тем самым улучшая стабильность и эффективность процесса.
Сценарии применения
Носитель пластин MOCVD широко используется в таких областях, как светодиоды, силовая электроника и лазеры. В этих приложениях производительность носителя пластин напрямую влияет на качество конечного продукта. Например, при производстве светодиодных чипов вращение и равномерный нагрев держателя пластин MOCVD обеспечивают качество покрытия, тем самым снижая процент брака чипов. Кроме того,MOCVD вафельный носительиграет решающую роль в производстве силовой электроники и лазеров, обеспечивая высокую производительность и надежность этих устройств.
Будущие тенденции развития
С глобальной точки зрения такие компании, как AMEC, Entegris и Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., обладают ведущими технологическими преимуществами в производстве подложек MOCVD. С постоянным развитием полупроводниковых технологий растет и спрос на держатели пластин MOCVD. В будущем, с популяризацией новых технологий, таких как 5G, Интернет вещей и новые энергетические транспортные средства, держатели пластин MOCVD будут играть важную роль в других областях.
Более того, благодаря достижениям в области материаловедения, новым технологиям нанесения покрытий и графитовым материалам более высокой чистоты эксплуатационные характеристики пластин MOCVD будут еще больше повышены. Например, будущие держатели пластин MOCVD могут использовать более передовые технологии нанесения покрытий для повышения их долговечности и термической стабильности, тем самым еще больше снижая производственные затраты и повышая эффективность производства.
Время публикации: 09 августа 2024 г.