Процесс сухого травления обычно состоит из четырех основных этапов: перед травлением, частичное травление, просто травление и надтравление. Основными характеристиками являются скорость травления, селективность, критический размер, однородность и обнаружение конечной точки. Рисунок 1. Перед травлением. Рисунок 2. Частичное травление. Рисунок...
Читать далее