Все тонкие пленки, используемые в производстве полупроводников, обладают сопротивлением, а сопротивление пленки напрямую влияет на производительность устройства. Обычно мы не измеряем абсолютное сопротивление пленки, а используем для ее характеристики поверхностное сопротивление. Что такое листовое сопротивление и объемное сопротивление...
Читать далее