Внедрение вафельного носителя
КАТЕГОРИЯ ПРОДУКТОВ
▶Система держателей пластин для процессов PECVD и TALOX
• Графитовая лодочка PECVD и TALOX (M4~M12)
• Вертикальная лодка SM (M4, M6)
• Имплантат и душевая графитовая часть (M4~M6)
• Лоток C/C и керамическое покрытие
• Металлический лоток RIE и керамическое покрытие
• Вакуумное уплотнение: уплотнительное кольцо и SQ-кольцо
▶Процесс переноса текстурирования и влажного травления
• LSC H-Carrier или кассета (M4~M12)
• LSC V-Carrier или кассета (M4~M12)
• ASC Carrier или кассета (M4, M6)
• W/F переноска и ящик для хранения (M4~M12)
• Серия транспортных колес (роликов)
▶Носитель солнечных батарей и металлический носитель
• Держатель или кассета TRC (M4~M12)
• Журнал (с РЕМЕНЕМ)
ГРАФИТОВАЯ ЛОДКА (Тип H)
19П6-216КТ (ВФ М4~М12)
ГРАФИТОВАЯ ЛОДКА (Тип H)
21P6-240CT ВФ М4~М12)
ГРАФИТОВАЯ ЛОДКА (Тип H)
23P7-308CT(с M4~M12)
ГРАФИТОВАЯ ЛОДКА (Тип H)
22P/7-294TP (с M4~M12)
ГРАФИТОВАЯ ЛОДКА (Тип H)
W182-22P7-294CT (Б/М12)
W182-21P6-240CT (Б/М12)
ПЕРЕВОЗКА И ЯЩИК ДЛЯ ХРАНЕНИЯ WF (~M12)
ЛОТОК или ДЕРЖАТЕЛЬ (M4~M10)
ЛОТОК или ДЕРЖАТЕЛЬ (M4~M10)
ВЕРТИКАЛЬНАЯ ЛОДКА (SM) M6
LSC-H-ДЕРЖАТЕЛЬ(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
АВТОНОСИТЕЛЬ ASC (~M6)
ТРК-ПЕРЕВОЗКА(~M12)
ТРК-ПЕРЕВОЗКА(~M12)
ГРАФИТОВАЯ ЛОДКА(M12)
Система держателей пластин для процесса PECVD
▶ ГРАФИТОВАЯ ЛОДКА (разработана CT) Процесс M10/M12
• СПЕЦИАЛЬНАЯ КОНЦЕПЦИЯ ДИЗАЙНА
▶ ГРАФИТОВАЯ ЛОДКА (разработана CT) Процесс M4/M6
▶ Аксессуары для ЛОДКИ
▶ ВЕРТИКАЛЬНАЯ ЛОДКА-161,7мм ВАФЛЯ
▶ ВЕРТИКАЛЬНАЯ ЛОДКА-166мм ВАФЛЯ
▶ ВЕРТИКАЛЬНАЯ ЛОДКА-161,7мм, ВАФЛЯ 166мм
Носитель солнечных батарей & Металлический носитель TRC
ТИП : Автоматизация
РАЗМЕР ВАФЛИ: ① 156×156 мм ② 156,75×156,75 мм
③161,7x161,7 мм ④166x166 мм
⑤ 180×180 мм ⑥ 210×210 мм
ПРИМЕНЕНИЕ: Носить (кассета)
ЕМКОСТЬ: 100 листов.
ШАГ: 4,76 мм/5,953 мм/6,35 мм
РАЗМЕРЫ: Около 559×220×220 мм.
Приблизительно 712×260×260 мм
ПРЕИМУЩЕСТВА: Атмосфера.
МАТЕРИАЛ: ПЛАМЯ,БОКОВАЯ ПЛАНКА-Алюминий (анодирование).
БОКОВАЯ ПЛАСТИНА-ПОМ (Антистатическая)
Крышка нижней планки-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
ДУШЕВАЯ ПОДСТАВКА И ИМПЛАНТАТ, ДЕРЖАТЕЛЬ
