Пластина SiC представляет собой плотную керамику с нулевой пористостью, изготовленную на основе SiC и спеченную при температуре 2250 ℃.Содержание SiC составляет более 99,6%, прочность на изгиб более 410 МПа, теплопроводность 140 Вт/МК. Это единственный керамический материал, устойчивый к HF, H2SO4 и другим сильным кислотным воздействиям.。
Преимущества карбидокремниевой керамики:
1, коэффициент теплового расширения мал, очень близок к кремнию;
2, отличная износостойкость, твердость уступает только алмазу;
3, отличная теплопроводность, высокая термостойкость и быстрое рассеивание тепла;