Графитовый инструмент с покрытием из карбида кремния, для эпитаксии

Инструмент графита с покрытием из карбида кремния, для ремесла эпитаксии Рекомендуемое изображение

Краткое описание:

Semicera предлагает широкий ассортимент токоприемников и графитовых компонентов, предназначенных для различных реакторов эпитаксии.

Благодаря стратегическому партнерству с ведущими OEM-производителями, обширному опыту в области материалов и передовым производственным возможностям, Semicera предлагает индивидуальные конструкции, отвечающие конкретным требованиям вашего применения. Наше стремление к совершенству гарантирует, что вы получите оптимальные решения для нужд вашего эпитаксионного реактора.

Отправьте нам электронное письмо

Детали продукта

Теги продукта

Описание

Наша компания предоставляет услуги по нанесению покрытия SiC методом CVD на поверхность графита, керамики и других материалов, так что специальные газы, содержащие углерод и кремний, реагируют при высокой температуре с получением молекул SiC высокой чистоты, молекул, осаждаемых на поверхности материалов с покрытием, образуя защитный слой SIC.

около (1)

о (2)

Основные характеристики

1. Графит высокой чистоты с покрытием SiC.

2. Превосходная термостойкость и термическая однородность.

3. Мелкие кристаллы SiC с гладким покрытием.

4. Высокая стойкость к химической чистке.

Основные характеристики покрытия CVD-SIC

Свойства SiC-CVD
Кристаллическая структура	FCC β-фаза
Плотность	г/см³	3.21
Твердость	Твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	мкм	2~10
Химическая чистота	%	99,99995
Теплоемкость	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексуральная сила	МПа (RT 4-точечный)	415
Модуль Юнга	Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃)	430
Тепловое расширение (КТР)	10-6К-1	4,5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300