Карбид тантала TaC CVD-покрытие Детали, изготовленные по индивидуальному заказу

Краткое описание:

С появлением 8-дюймовых пластин карбида кремния (SiC) требования к различным полупроводниковым процессам стали все более строгими, особенно к процессам эпитаксии, где температура может превышать 2000 градусов Цельсия.Традиционные токоприемники, такие как графит, покрытый карбидом кремния, имеют тенденцию к сублимации при таких высоких температурах, нарушая процесс эпитаксии.Однако карбид тантала CVD (TaC) эффективно решает эту проблему, выдерживая температуры до 2300 градусов Цельсия и обеспечивая более длительный срок службы.Свяжитесь с Semicera's Карбид тантала TaC CVD-покрытие Детали, изготовленные по индивидуальному заказучтобы узнать больше о наших передовых решениях.

 


Информация о продукте

Теги продукта

Semicera предлагает специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей.Передовой процесс нанесения покрытий Semicera позволяет покрытиям из карбида тантала (TaC) достигать высокой чистоты, высокой температурной стабильности и высокой химической стойкости, улучшая качество продукции кристаллов SIC/GAN и слоев EPI (Токоприемник TaC с графитовым покрытием), а также продление срока службы ключевых компонентов реактора.Использование покрытия TaC из карбида тантала призвано решить проблему кромок и улучшить качество роста кристаллов, а компания Semicera совершила прорыв в технологии покрытия из карбида тантала (CVD), достигнув международного передового уровня.

 

С появлением 8-дюймовых пластин карбида кремния (SiC) требования к различным полупроводниковым процессам стали все более строгими, особенно к процессам эпитаксии, где температура может превышать 2000 градусов Цельсия.Традиционные токоприемники, такие как графит, покрытый карбидом кремния, имеют тенденцию к сублимации при таких высоких температурах, нарушая процесс эпитаксии.Однако карбид тантала CVD (TaC) эффективно решает эту проблему, выдерживая температуры до 2300 градусов Цельсия и обеспечивая более длительный срок службы.Свяжитесь с Semicera's Карбид тантала TaC CVD-покрытие Детали, изготовленные по индивидуальному заказучтобы узнать больше о наших передовых решениях.

После многих лет развития компания Semicera овладела технологиейССЗ TaCсовместными усилиями отдела исследований и разработок.Дефекты легко возникают в процессе роста пластин SiC, но после использованияТаС, разница существенная.Ниже приведено сравнение пластин с TaC и без него, а также деталей Simicera для выращивания монокристаллов.

微信图片_20240227150045

с ТАК и без него

фото_20240227150053

После использования TaC (справа)

Более того, компания SemiceraИзделия с покрытием TaCимеют более длительный срок службы и большую устойчивость к высоким температурам по сравнению сSiC-покрытия.Лабораторные измерения показали, что нашиTaC-покрытияможет стабильно работать при температуре до 2300 градусов по Цельсию в течение длительного времени.Ниже приведены некоторые примеры наших образцов:

 
0(1)
Семицера Рабочее место
Семицера рабочее место 2
Оборудование машины
Склад Семицера
Обработка CNN, химическая очистка, покрытие CVD
Наш сервис

  • Предыдущий:
  • Следующий: