СемицераНеполярная алюминиевая подложка M-плоскости 10x10 ммтщательно разработан для удовлетворения строгих требований передовых оптоэлектронных приложений. Эта подложка имеет неполярную ориентацию M-плоскости, что имеет решающее значение для уменьшения эффектов поляризации в таких устройствах, как светодиоды и лазерные диоды, что приводит к повышению производительности и эффективности.
Неполярная алюминиевая подложка M-плоскости 10x10 ммизготовлен с исключительным кристаллическим качеством, обеспечивающим минимальную плотность дефектов и превосходную структурную целостность. Это делает его идеальным выбором для эпитаксиального выращивания высококачественных пленок нитрида III, которые необходимы для разработки оптоэлектронных устройств следующего поколения.
Точная инженерия Semicera гарантирует, что каждыйНеполярная алюминиевая подложка M-плоскости 10x10 ммобеспечивает постоянную толщину и плоскостность поверхности, которые имеют решающее значение для равномерного осаждения пленки и изготовления устройств. Кроме того, компактный размер подложки делает ее подходящей как для исследовательских, так и для производственных сред, обеспечивая гибкое использование в различных приложениях. Благодаря превосходной термической и химической стабильности эта подложка обеспечивает надежную основу для разработки передовых оптоэлектронных технологий.
| Предметы | Производство | Исследовать | Дурачок |
| Параметры кристалла | |||
| Политип | 4H | ||
| Ошибка ориентации поверхности | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрические параметры | |||
| легирующая примочка | Азот n-типа | ||
| Удельное сопротивление | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механические параметры | |||
| Диаметр | 150,0±0,2 мм | ||
| Толщина | 350±25 мкм | ||
| Первичная плоская ориентация | [1-100]±5° | ||
| Первичная плоская длина | 47,5±1,5 мм | ||
| Вторичная квартира | Никто | ||
| ТТВ | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| Общая ценность | ≤3 мкм (5 мм*5 мм) | ≤5 мкм (5 мм*5 мм) | ≤10 мкм (5 мм*5 мм) |
| Поклон | -15 мкм ~ 15 мкм | -35 мкм ~ 35 мкм | -45 мкм ~ 45 мкм |
| Деформация | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Шероховатость передней поверхности (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Структура | |||
| Плотность микротрубок | <1 шт./см2 | <10 шт/см2 | <15 шт/см2 |
| Металлические примеси | ≤5E10атомов/см2 | NA | |
| БЛД | ≤1500 шт/см2 | ≤3000 шт/см2 | NA |
| ТСД | ≤500 шт/см2 | ≤1000 шт/см2 | NA |
| Переднее качество | |||
| Передний | Si | ||
| Чистота поверхности | Si-лицо CMP | ||
| Частицы | ≤60 шт/пластина (размер≥0,3 мкм) | NA | |
| Царапины | ≤5 шт./мм. Совокупная длина ≤Диаметр | Совокупная длина≤2*диаметр | NA |
| Апельсиновая корка/косточки/пятна/бороздки/трещины/загрязнения | Никто | NA | |
| Краевые сколы/вмятины/изломы/шестигранные пластины | Никто | ||
| Политипные области | Никто | Совокупная площадь≤20% | Совокупная площадь≤30% |
| Передняя лазерная маркировка | Никто | ||
| Назад Качество | |||
| Задняя отделка | C-образная грань CMP | ||
| Царапины | ≤5 шт./мм, совокупная длина≤2*диаметр | NA | |
| Дефекты задней стороны (сколы/вмятины по краям) | Никто | ||
| Задняя шероховатость | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Задняя лазерная маркировка | 1 мм (от верхнего края) | ||
| Край | |||
| Край | Фаска | ||
| Упаковка | |||
| Упаковка | Эпи-готовность в вакуумной упаковке Многовафельная кассетная упаковка | ||
| *Примечания: «NA» означает отсутствие запроса. Неуказанные элементы могут относиться к SEMI-STD. | |||
