36 частей 4-дюймовых деталей оборудования MOCVD с графитовой основой

Краткое описание:

Представление и использование продукта: размещение 36 частей 4-часовой подложки, используемой для выращивания светодиодов с сине-зеленой эпитаксиальной пленкой.

Расположение продукта: в реакционной камере, в непосредственном контакте с пластиной.

Основная продукция переработки: светодиодные чипы.

Основной рынок сбыта: светодиоды


Детали продукта

Теги продукта

Описание

Наша компания предоставляетSiC-покрытиетехнологические услуги методом CVD на поверхности графита, керамики и других материалов, так что специальные газы, содержащие углерод и кремний, реагируют при высокой температуре с получением молекул SiC высокой чистоты, молекулы осаждаются на поверхности материалов с покрытием, образуяЗащитный слой SIC.

 

Графитовая основа--36

Основные характеристики

1. Устойчивость к высокотемпературному окислению:
стойкость к окислению остается очень хорошей при температуре до 1600 C.
2. Высокая чистота: производится методом химического осаждения из паровой фазы в условиях высокотемпературного хлорирования.
3. Устойчивость к эрозии: высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.
4. Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.

Основные характеристики покрытия CVD-SIC

Свойства SiC-CVD
Кристаллическая структура FCC β-фаза
Плотность г/см³ 3.21
Твердость Твердость по Виккерсу 2500
Размер зерна мкм 2~10
Химическая чистота % 99,99995
Теплоемкость Дж·кг-1 ·К-1 640
Температура сублимации 2700
Фелексуральная сила МПа (RT 4-точечный) 415
Модуль Юнга Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃) 430
Тепловое расширение (КТР) 10-6К-1 4,5
Теплопроводность (Вт/мК) 300
Семицера Рабочее место
Семицера рабочее место 2
Оборудование машины
Обработка CNN, химическая очистка, покрытие CVD
Склад Семицера
Наш сервис

  • Предыдущий:
  • Следующий: