6-дюймовая подложка n-типа SIC

Краткое описание:

6-дюймовая подложка SiC n-типа‌ представляет собой полупроводниковый материал, характеризующийся использованием пластины размером 6 дюймов, что увеличивает количество устройств, которые можно производить на одной пластине с большей площадью поверхности, тем самым снижая затраты на уровне устройства. . Разработка и применение 6-дюймовых подложек SiC n-типа способствовали развитию таких технологий, как метод выращивания RAF, который уменьшает количество дислокаций за счет разрезания кристаллов вдоль дислокаций и параллельных направлений и повторного выращивания кристаллов, тем самым улучшая качество подложки. Применение этой подложки имеет большое значение для повышения эффективности производства и снижения стоимости силовых устройств SiC.


Детали продукта

Теги продукта

Монокристаллический материал карбида кремния (SiC) имеет большую ширину запрещенной зоны (~Si в 3 раза), высокую теплопроводность (~Si в 3,3 раза или GaAs в 10 раз), высокую скорость миграции насыщения электронов (~Si в 2,5 раза), высокую электрическую проводимость пробоя. поле (~Si в 10 раз или GaAs в 5 раз) и другие выдающиеся характеристики.

Полупроводниковые материалы третьего поколения в основном включают SiC, GaN, алмаз и т. д., поскольку ширина запрещенной зоны (Eg) превышает или равна 2,3 электрон-вольта (эВ), они также известны как полупроводниковые материалы с широкой запрещенной зоной. По сравнению с полупроводниковыми материалами первого и второго поколения полупроводниковые материалы третьего поколения обладают преимуществами высокой теплопроводности, сильного электрического поля пробоя, высокой скорости миграции насыщенных электронов и высокой энергии связи, что может удовлетворить новые требования современной электронной технологии для высокой температура, высокая мощность, высокое давление, высокая частота и радиационная стойкость и другие суровые условия. Он имеет важные перспективы применения в области национальной обороны, авиации, аэрокосмической промышленности, разведки нефти, оптического хранения и т. д. и может снизить потери энергии более чем на 50% во многих стратегических отраслях, таких как широкополосная связь, солнечная энергетика, автомобилестроение, полупроводниковое освещение и интеллектуальные сети позволяют сократить объем оборудования более чем на 75%, что имеет важное значение для развития человеческой науки и технологий.

Semicera Energy может предоставить клиентам высококачественную проводящую (проводящую), полуизолирующую (полуизоляционную), HPSI (полуизоляционную) подложку из карбида кремния; Кроме того, мы можем предоставить клиентам гомогенные и гетерогенные эпитаксиальные листы карбида кремния; Мы также можем изготовить эпитаксиальный лист в соответствии с конкретными потребностями клиентов, при этом минимальный объем заказа не установлен.

ОСНОВНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПРОДУКТА

Размер 6-дюймовый
Диаметр 150,0 мм+0 мм/-0,2 мм
Ориентация поверхности вне оси: 4°в направлении<1120>±0,5°
Основная плоская длина 47,5 мм1,5 мм
Первичная плоская ориентация <1120>±1,0°
Вторичная квартира Никто
Толщина 350,0 мкм±25,0 мкм
Политип 4H
Проводящий тип n-типа

ХАРАКТЕРИСТИКИ КАЧЕСТВА КРИСТАЛЛА

6-дюймовый
Элемент П-МОП класс П-СБД Марка
Удельное сопротивление 0,015 Ом·см-0,025 Ом·см
Политип Ничего не разрешено
Плотность микротрубок ≤0,2/см2 ≤0,5/см2
ЭПД ≤4000/см2 ≤8000/см2
ТЕД ≤3000/см2 ≤6000/см2
БЛД ≤1000/см2 ≤2000/см2
ТСД ≤300/см2 ≤1000/см2
SF (измерено UV-PL-355 нм) ≤0,5% площади ≤1% площади
Шестигранные пластины светом высокой интенсивности Ничего не разрешено
Визуальные включения углерода при свете высокой интенсивности Совокупная площадь≤0,05%
微信截图_20240822105943

Удельное сопротивление

Политип

6-дюймовая подложка n-типа (3)
6-дюймовая подложка n-типа (4)

БЛД и ТСД

6-дюймовая подложка n-типа (5)
SiC пластины

  • Предыдущий:
  • Следующий: