Основные особенности:
1. Устойчивость к высокотемпературному окислению:
стойкость к окислению остается очень хорошей при температуре до 1600 C.
2. Высокая чистота: производится методом химического осаждения из паровой фазы в условиях высокотемпературного хлорирования.
3. Устойчивость к эрозии: высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.
4. Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
Основные характеристикиCVD-SIC покрытие
| Свойства SiC-CVD | ||
| Кристальная структура | FCC β-фаза | |
| Плотность | г/см³ | 3.21 |
| Твердость | Твердость по Виккерсу | 2500 |
| Размер зерна | мкм | 2~10 |
| Химическая чистота | % | 99,99995 |
| Теплоемкость | Дж·кг-1 ·К-1 | 640 |
| Температура сублимации | ℃ | 2700 |
| Фелексуральная сила | МПа (RT 4-точечный) | 415 |
| Модуль для младших | Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃) | 430 |
| Тепловое расширение (КТР) | 10-6К-1 | 4,5 |
| Теплопроводность | (Вт/мК) | 300 |
-
Полудетали для эпитаксиального оборудования SiC
-
Нагревательные элементы для подложки MOCVD
-
Токоприемник ствола с карбидом кремния
-
Лоток MOCVD с антиокислительным покрытием SiC высокой чистоты
-
Тепловой полевой материал для кристаллов карбида кремния...
-
Графитовый токоприемник с покрытием из карбида кремния...