Объемное кольцо CVD SiC

Кольцо из карбида кремния, полученное методом CVD

Краткое описание:

В кольцах SiC, полученных методом CVD, в качестве сырья используется газ-источник кремния (например, гидрид кремния) и газ-источник углерода (например, метан), которые реагируют при высокой температуре с нанесением крупногабаритных материалов SiC на подложку или форму. Этот процесс позволяет равномерно осаждать SiC на большой площади, образуя прочную и однородную кольцевую структуру.

Отправьте нам электронное письмо

Детали продукта

Теги продукта

Почему кольцо для травления из карбида кремния?

RTPCVD SiC кольцашироко используются в промышленных и научных областях в условиях высоких температур и агрессивных сред. Он играет важную роль в производстве полупроводников, оптоэлектроники, точного машиностроения и химической промышленности. Конкретные приложения включают в себя:

1. Производство полупроводников:Кольца RTP CVD SiCможет использоваться для нагрева и охлаждения полупроводникового оборудования, обеспечивая стабильный контроль температуры и гарантируя точность и стабильность процесса.

2. Оптоэлектроника: благодаря превосходной теплопроводности и устойчивости к высоким температурам RTPCVD SiC кольцаможет использоваться в качестве материалов для поддержки и рассеивания тепла для лазеров, оборудования волоконно-оптической связи и оптических компонентов.

3. Прецизионное оборудование: Кольца RTP CVD SiC можно использовать для точных инструментов и оборудования, работающих в высокотемпературных и агрессивных средах, таких как высокотемпературные печи, вакуумные устройства и химические реакторы.

4. Химическая промышленность. Благодаря своей коррозионной стойкости и химической стабильности кольца RTP CVD SiC можно использовать в контейнерах, трубах и реакторах в химических реакциях и каталитических процессах.

Эпи система

Система RTP

CVD-система

Производительность продукта:

1. Соответствовать процессу ниже 28 нм

2. Суперкоррозионная стойкость

3. Суперчистая производительность

4. Супер твердость

5. Высокая плотность

6. Высокая термостойкость.

7. Износостойкость

Применение продукта:

Карбидокремниевые материалы обладают характеристиками высокой твердости, износостойкости, коррозионной стойкости и высокой температурной стабильности. Продукты с отличными комплексными характеристиками широко используются в процессах сухого травления и TF/диффузии.