Карбид кремния Керамический эффектор для переноса пластин в различных полупроводниковых процессах

Характеристики и преимущества

1. Точные размеры и термическая стабильность.

2. Высокая удельная жесткость и отличная термическая однородность, при длительном использовании нелегко согнуть деформацию;

3. Он имеет гладкую поверхность и хорошую износостойкость, что позволяет безопасно обращаться со стружкой без загрязнения частицами.

4. Сопротивление карбида кремния 106-108 Ом, немагнитное, соответствует требованиям спецификации по защите от электростатического разряда;Это может предотвратить накопление статического электричества на поверхности чипа.

5. Хорошая теплопроводность, низкий коэффициент расширения.