Кремниевые пластины ФЗ

Пластина с плавающей зоной выращивается методом плавления в плавающей зоне (метод плавления с плавающей зоной), также известный как пластина с зонной плавкой, пластина FZ, представляет собой кремниевую пластину высокой чистоты, может заменить монокристаллический прямотянутый процесс CZ кремниевых пластин.По сравнению с пластинами, изготовленными методом CZ, зонированные пластины имеют множество преимуществ, таких как отсутствие тигля, низкая производственная нагрузка и отсутствие ограничений по температуре плавления, что делает их идеальными для таких применений, как солнечные модули, радиочастотные устройства и прецизионные силовые устройства. Концентрация примесей кислорода и углерода в пластинах ФЗ невелика, а азот специально добавляется для повышения их механической прочности.