Нагревательные элементы для подложки MOCVD

Краткое описание:

Нагревательные элементы Semicera для подложек MOCVD разработаны для обеспечения точного и стабильного контроля температуры в процессах химического осаждения металлов и органических соединений из паровой фазы (MOCVD). Эти нагревательные элементы, изготовленные из высококачественного графита, обеспечивают исключительную теплопроводность, равномерный нагрев и долговременную надежность. Нагревательные элементы Semicera идеально подходят для производства полупроводников, производства светодиодов и применения современных материалов. Они обеспечивают стабильную производительность, оптимизируя процесс подложки MOCVD для максимальной эффективности и качества.


Детали продукта

Теги продукта

Основные характеристики графитового нагревателя:

1. однородность нагревательной структуры.

2. Хорошая электропроводность и высокая электрическая нагрузка.

3. коррозионная стойкость.

4. неокисляемость.

5. Высокая химическая чистота.

6. высокая механическая прочность.

Преимуществом является энергоэффективность, высокая стоимость и низкие эксплуатационные расходы. Мы можем производить антиокислительные и долговечные графитовые тигли, графитовые формы и все части графитовых нагревателей.

MOCVD-Подложка-Нагреватель-Нагревательные элементы-Для-MOCVD3-300x300

Основные параметры графитового нагревателя

Техническая спецификация

Семицера-М3

Объемная плотность (г/см3)

≥1,85

Содержание золы (PPM)

≤500

Твердость по Шору

≥45

Удельное сопротивление (мкОм.м)

≤12

Прочность на изгиб (МПа)

≥40

Прочность на сжатие (МПа)

≥70

Макс. Размер зерна (мкм)

≤43

Коэффициент теплового расширения мм/°C

≤4,4*10-6

Нагреватель подложки MOCVD_ Нагревательные элементы для MOCVD
Семицера Рабочее место
Семицера рабочее место 2
Оборудование машины
Обработка CNN, химическая очистка, покрытие CVD
Наш сервис

  • Предыдущий:
  • Следующий: