Лопасть из карбида кремния высокой чистоты

Краткое описание:

Лопатка Semicera из карбида кремния высокой чистоты разработана для современных полупроводниковых применений и обеспечивает превосходную термическую стабильность и механическую прочность. Эта лопатка из карбида кремния обеспечивает точную обработку пластин, что делает ее идеальным выбором для высокотемпературных сред. Свяжитесь с нами для запросов!


Детали продукта

Теги продукта

Семицера высокой чистотыЛопасть из карбида кремниятщательно разработан для удовлетворения строгих требований современных процессов производства полупроводников. ЭтотКонсольное весло SiCпревосходно работает в условиях высоких температур, обеспечивая непревзойденную термическую стабильность и механическую долговечность. Консольная конструкция SiC рассчитана на экстремальные условия и обеспечивает надежную работу с пластинами в различных процессах.

Одно из ключевых нововведенийSiC веслоЕго легкая, но прочная конструкция позволяет легко интегрировать его в существующие системы. Его высокая теплопроводность помогает поддерживать стабильность пластин на критических этапах, таких как травление и осаждение, сводя к минимуму риск повреждения пластин и обеспечивая более высокий выход продукции. Использование карбида кремния высокой плотности в конструкции лопасти повышает ее устойчивость к износу, обеспечивая длительный срок службы и снижая необходимость частой замены.

Semicera уделяет большое внимание инновациям, предлагаяКонсольное весло SiCчто не только соответствует, но и превосходит отраслевые стандарты. Эта лопатка оптимизирована для использования в различных приложениях полупроводников, от осаждения до травления, где точность и надежность имеют решающее значение. Интегрируя эту передовую технологию, производители могут рассчитывать на повышение эффективности, снижение затрат на техническое обслуживание и стабильное качество продукции.

Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния

Свойство

Типичное значение

Рабочая температура (°С)

1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)

содержание карбида кремния

> 99,96%

Бесплатный Si-контент

< 0,1%

Объемная плотность

2,60-2,70 г/см3

Кажущаяся пористость

< 16%

Сила сжатия

> 600 МПа

Прочность на холодный изгиб

80-90 МПа (20°С)

Прочность на горячий изгиб

90-100 МПа (1400°С)

Тепловое расширение при 1500°C

4,70 10-6/°С

Теплопроводность при 1200°C

23 Вт/м•К

Модуль упругости

240 ГПа

Устойчивость к термическому удару

Очень хорошо

0f75f96b9a8d9016a504c0c47e59375
Семицера Рабочее место
Семицера рабочее место 2
Оборудование машины
Обработка CNN, химическая очистка, покрытие CVD
Склад Семицера
Наш сервис

  • Предыдущий:
  • Следующий: