Семицера высокой чистотыЛопасть из карбида кремниятщательно разработан для удовлетворения строгих требований современных процессов производства полупроводников. ЭтотКонсольное весло SiCпревосходно работает в условиях высоких температур, обеспечивая непревзойденную термическую стабильность и механическую долговечность. Консольная конструкция SiC рассчитана на экстремальные условия и обеспечивает надежную работу с пластинами в различных процессах.
Одно из ключевых нововведенийSiC веслоЕго легкая, но прочная конструкция позволяет легко интегрировать его в существующие системы. Его высокая теплопроводность помогает поддерживать стабильность пластин на критических этапах, таких как травление и осаждение, сводя к минимуму риск повреждения пластин и обеспечивая более высокий выход продукции. Использование карбида кремния высокой плотности в конструкции лопасти повышает ее устойчивость к износу, обеспечивая длительный срок службы и снижая необходимость частой замены.
Semicera уделяет большое внимание инновациям, предлагаяКонсольное весло SiCчто не только соответствует, но и превосходит отраслевые стандарты. Эта лопатка оптимизирована для использования в различных приложениях полупроводников, от осаждения до травления, где точность и надежность имеют решающее значение. Интегрируя эту передовую технологию, производители могут рассчитывать на повышение эффективности, снижение затрат на техническое обслуживание и стабильное качество продукции.
Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния | |
Свойство | Типичное значение |
Рабочая температура (°С) | 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда) |
содержание карбида кремния | > 99,96% |
Бесплатный Si-контент | < 0,1% |
Объемная плотность | 2,60-2,70 г/см3 |
Кажущаяся пористость | < 16% |
Сила сжатия | > 600 МПа |
Прочность на холодный изгиб | 80-90 МПа (20°С) |
Прочность на горячий изгиб | 90-100 МПа (1400°С) |
Тепловое расширение при 1500°C | 4,70 10-6/°С |
Теплопроводность при 1200°C | 23 Вт/м•К |
Модуль упругости | 240 ГПа |
Устойчивость к термическому удару | Очень хорошо |