Semicera представляет высококачественные полупроводникиконсольные лопатки из карбида кремния, разработанный с учетом строгих требований современного производства полупроводников.
лопатка из карбида кремнияимеет усовершенствованную конструкцию, которая сводит к минимуму тепловое расширение и деформацию, что делает его очень надежным в экстремальных условиях. Его прочная конструкция обеспечивает повышенную долговечность, снижая риск поломки или износа, что имеет решающее значение для поддержания высокой производительности и стабильного качества продукции.вафельный корабликКонструкция также легко интегрируется со стандартным оборудованием для обработки полупроводников, обеспечивая совместимость и простоту использования.
Одна из выдающихся особенностей Semicera.карбид кремния лопаткаЭто его химическая стойкость, которая позволяет ему исключительно хорошо работать в средах, подверженных воздействию агрессивных газов и химикатов. Ориентация Semicera на индивидуализацию позволяет находить индивидуальные решения.
| Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния | |
| Свойство | Типичное значение |
| Рабочая температура (°С) | 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда) |
| содержание карбида кремния | > 99,96% |
| Бесплатный Si-контент | < 0,1% |
| Объемная плотность | 2,60-2,70 г/см3 |
| Кажущаяся пористость | < 16% |
| Сила сжатия | > 600 МПа |
| Прочность на холодный изгиб | 80-90 МПа (20°С) |
| Прочность на горячий изгиб | 90-100 МПа (1400°С) |
| Тепловое расширение при 1500°C | 4,70 10-6/°С |
| Теплопроводность при 1200°C | 23 Вт/м•К |
| Модуль упругости | 240 ГПа |
| Устойчивость к термическому удару | Очень хорошо |
-
Прокладка механического уплотнения из карбида кремния, керамика...
-
Душевая головка CVD с покрытием SiC
-
Система эпиляции ствола с индуктивным нагревом с покрытием SiC
-
Настраиваемая роботизированная рука из циркониевой керамики
-
Полупроводниковая керамика из нитрида кремния
-
Нагреватели с покрытием из карбида кремния SiC