Кардридовые контактные лотки для процессов ICP-травления в светодиодной промышленности

Краткое описание:

Карбид кремния — это новый тип керамики с высокими экономическими характеристиками и отличными свойствами материала.Благодаря таким характеристикам, как высокая прочность и твердость, устойчивость к высоким температурам, отличная теплопроводность и стойкость к химической коррозии, карбид кремния может противостоять практически всем химическим средам.Таким образом, SiC широко используются в нефтедобывающей, химической, машиностроительной и воздушной сферах, даже в атомной энергетике и вооруженных силах предъявляют особые требования к SIC.

Мы можем спроектировать и изготовить по вашим конкретным размерам с хорошим качеством и разумными сроками доставки.


Информация о продукте

Теги продукта

Описание продукта

Наша компания предоставляет услуги по нанесению покрытия SiC методом CVD на поверхность графита, керамики и других материалов, так что специальные газы, содержащие углерод и кремний, реагируют при высокой температуре с получением молекул SiC высокой чистоты, молекул, осаждаемых на поверхности материалов с покрытием, образуя защитный слой SIC.

Основные особенности:

1. Устойчивость к высокотемпературному окислению:

стойкость к окислению остается очень хорошей при температуре до 1600 C.

2. Высокая чистота: производится методом химического осаждения из паровой фазы в условиях высокотемпературного хлорирования.

3. Устойчивость к эрозии: высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.

4. Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.

Травленый диск из карбида кремния (2)

Основные характеристики покрытия CVD-SIC

Свойства SiC-CVD

Кристальная структура

FCC β-фаза

Плотность

г/см³

3.21

Твердость

Твердость по Виккерсу

2500

Размер зерна

мкм

2~10

Химическая чистота

%

99,99995

Теплоемкость

Дж·кг-1 ·К-1

640

Температура сублимации

2700

Фелексуральная сила

МПа (RT 4-точечный)

415

Модуль для младших

Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃)

430

Тепловое расширение (КТР)

10-6К-1

4,5

Теплопроводность

(Вт/мК)

300

Семицера Рабочее место
Семицера рабочее место 2
Оборудование машины
Обработка CNN, химическая очистка, покрытие CVD
Наш сервис

  • Предыдущий:
  • Следующий: