Изостатическая графитовая лодочка PECVD

Изостатическое изображение графитовой лодочки PECVD

Краткое описание:

Изостатическая графитовая лодочка PECVD широко используется в различных отраслях производства полупроводников, таких как осаждение поликремниевой пленки, осаждение оксидной пленки, осаждение нитридной пленки и т. д. Ее превосходные характеристики делают ее идеальным носителем пластин в процессе PECVD.

Отправьте нам электронное письмо

Детали продукта

Теги продукта

Изостатическая графитовая лодочка SEMICERA PECVD представляет собой графитовый продукт высокой чистоты и высокой плотности, предназначенный для поддержки пластин в процессе PECVD (химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением). SEMICERA использует передовую технологию изостатического прессования, чтобы гарантировать, что графитовая лодочка обладает превосходной устойчивостью к высоким температурам, коррозионной стойкостью, стабильностью размеров и хорошей теплопроводностью, что является незаменимым расходным материалом в процессе производства полупроводников.

Изостатическая графитовая лодочка SEMICERA PECVD имеет следующие преимущества:

▪ Высокая чистота: графитовый материал имеет высокую чистоту и низкое содержание примесей, что позволяет избежать загрязнения поверхности пластины.

▪ Высокая плотность: Высокая плотность, высокая механическая прочность, устойчивость к высоким температурам и высокому вакууму.

▪ Хорошая стабильность размеров: небольшое изменение размеров при высокой температуре обеспечивает стабильность процесса.

▪ Отличная теплопроводность: эффективно передает тепло, предотвращая перегрев пластины.

▪ Высокая коррозионная стойкость: способность противостоять эрозии, вызываемой различными агрессивными газами и плазмой.

Параметр производительности	полуцерка	СГЛ R6510	Параметр производительности
Насыпная плотность (г/см3)	1,91	1,83	1,85
Прочность на изгиб (МПа)	63	60	49
Прочность на сжатие (МПа)	135	130	103
Твердость по Шору (HS)	70	64	60
Коэффициент теплового расширения (10-6/К)	85	105	130
Коэффициент теплового расширения (10-6/К)	5,85	4.2	5.0
Удельное сопротивление (мкОм·м)	11-13	13	10

Преимущества выбора нас:
▪ Выбор материалов: для обеспечения качества продукции используются графитовые материалы высокой чистоты.
▪ Технология переработки: Для обеспечения плотности и однородности продукта используется изостатическое прессование.
▪ Индивидуальный размер: графитовые лодки разных размеров и форм могут быть изготовлены по индивидуальному заказу в соответствии с потребностями клиента.
▪ Обработка поверхности: предусмотрены различные методы обработки поверхности, такие как покрытие из карбида кремния, нитрида бора и т. д., для удовлетворения различных технологических требований.