Кассета ПФА

Краткое описание:

Кассета ПФА– Ощутите непревзойденную химическую стойкость и долговечность с помощью кассеты Semicera PFA, идеального решения для безопасного и эффективного обращения с пластинами в производстве полупроводников.


Детали продукта

Теги продукта

Семицерарад предложитьКассета ПФА, превосходный выбор для работы с пластинами в средах, где химическая стойкость и долговечность имеют первостепенное значение. Эта кассета, изготовленная из перфторалкокси (PFA) высокой чистоты, предназначена для работы в самых сложных условиях производства полупроводников, обеспечивая безопасность и целостность ваших пластин.

Непревзойденная химическая стойкостьКассета ПФАРазработан для обеспечения превосходной устойчивости к широкому спектру химикатов, что делает его идеальным выбором для процессов, в которых используются агрессивные кислоты, растворители и другие агрессивные химикаты. Такая надежная химическая стойкость гарантирует, что кассета остается неповрежденной и функциональной даже в самых агрессивных средах, тем самым продлевая срок ее службы и уменьшая необходимость частой замены.

Конструкция высокой чистотыСемицераКассета ПФАИзготовлен из сверхчистого материала PFA, что имеет решающее значение для предотвращения загрязнения во время обработки пластин. Эта конструкция высокой чистоты сводит к минимуму риск образования частиц и химического выщелачивания, гарантируя защиту ваших пластин от примесей, которые могут поставить под угрозу их качество.

Повышенная долговечность и производительностьРазработанный для долговечности,Кассета ПФАсохраняет свою структурную целостность при экстремальных температурах и строгих условиях обработки. Независимо от того, подвергается ли она воздействию высоких температур или многократному обращению, эта кассета сохраняет свою форму и характеристики, обеспечивая долгосрочную надежность в сложных производственных условиях.

Прецизионное проектирование для безопасного обращенияКассета Semicera PFAотличается точной конструкцией, обеспечивающей безопасную и стабильную работу с пластинами. Каждый слот тщательно спроектирован так, чтобы надежно удерживать пластины на месте, предотвращая любое движение или смещение, которое может привести к повреждению. Такое прецизионное проектирование обеспечивает последовательное и точное размещение пластин, способствуя общей эффективности процесса.

Универсальное применение для разных процессовБлагодаря превосходным свойствам материала,Кассета ПФАдостаточно универсален, чтобы его можно было использовать на различных этапах производства полупроводников. Он особенно хорошо подходит для мокрого травления, химического осаждения из паровой фазы (CVD) и других процессов, в которых используются агрессивные химические среды. Адаптивность делает его важным инструментом для поддержания целостности процесса и качества пластин.

Приверженность качеству и инновациямВ Semicera мы стремимся предоставлять продукцию, соответствующую самым высоким отраслевым стандартам.Кассета ПФАиллюстрирует это обязательство, предлагая надежное решение, которое легко интегрируется в ваши производственные процессы. Каждая кассета проходит строгий контроль качества, чтобы гарантировать, что она соответствует нашим строгим критериям производительности, обеспечивая качество, которое вы ожидаете от Semicera.

Предметы

Производство

Исследовать

Дурачок

Параметры кристалла

Политип

4H

Ошибка ориентации поверхности

<11-20 >4±0,15°

Электрические параметры

легирующая примочка

Азот n-типа

Удельное сопротивление

0,015-0,025 Ом·см

Механические параметры

Диаметр

150,0±0,2 мм

Толщина

350±25 мкм

Первичная плоская ориентация

[1-100]±5°

Первичная плоская длина

47,5±1,5 мм

Вторичная квартира

Никто

ТТВ

≤5 мкм

≤10 мкм

≤15 мкм

Общая ценность

≤3 мкм (5 мм*5 мм)

≤5 мкм (5 мм*5 мм)

≤10 мкм (5 мм*5 мм)

Поклон

-15 мкм ~ 15 мкм

-35 мкм ~ 35 мкм

-45 мкм ~ 45 мкм

Деформация

≤35 мкм

≤45 мкм

≤55 мкм

Шероховатость передней поверхности (Si-face) (AFM)

Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм)

Структура

Плотность микротрубок

<1 шт./см2

<10 шт/см2

<15 шт/см2

Металлические примеси

≤5E10атомов/см2

NA

БЛД

≤1500 шт/см2

≤3000 шт/см2

NA

ТСД

≤500 шт/см2

≤1000 шт/см2

NA

Переднее качество

Передний

Si

Чистота поверхности

Si-лицо CMP

Частицы

≤60 шт/пластина (размер≥0,3 мкм)

NA

Царапины

≤5 шт./мм. Совокупная длина ≤Диаметр

Совокупная длина≤2*диаметр

NA

Апельсиновая корка/косточки/пятна/бороздки/трещины/загрязнения

Никто

NA

Краевые сколы/вмятины/изломы/шестигранные пластины

Никто

Политипные области

Никто

Совокупная площадь≤20%

Совокупная площадь≤30%

Передняя лазерная маркировка

Никто

Назад Качество

Задняя отделка

C-образная грань CMP

Царапины

≤5 шт./мм, совокупная длина≤2*диаметр

NA

Дефекты задней стороны (сколы/вмятины по краям)

Никто

Задняя шероховатость

Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм)

Задняя лазерная маркировка

1 мм (от верхнего края)

Край

Край

Фаска

Упаковка

Упаковка

Эпи-готовность в вакуумной упаковке

Многовафельная кассетная упаковка

*Примечания: «NA» означает отсутствие запроса. Неуказанные элементы могут относиться к SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC пластины

  • Предыдущий:
  • Следующий: