Полупроводниковая кассета

Краткое описание:

Полупроводниковая кассета– Точная защита и транспортировка ваших пластин с помощью полупроводниковой кассеты Semicera, разработанной для обеспечения оптимальной безопасности и эффективности в высокотехнологичных производственных средах.


Детали продукта

Теги продукта

СемицерапредставляетПолупроводниковая кассета, важный инструмент для безопасного и эффективного обращения с пластинами на протяжении всего процесса производства полупроводников. Эта кассета, разработанная с высокой точностью, обеспечивает безопасное хранение и транспортировку ваших пластин, сохраняя их целостность на каждом этапе.

Превосходная защита и долговечностьПолупроводниковая кассетаот Semicera создан для обеспечения максимальной защиты ваших пластин. Изготовленный из прочных, устойчивых к загрязнению материалов, он защищает ваши пластины от потенциальных повреждений и загрязнений, что делает его идеальным выбором для чистых помещений. Конструкция кассеты сводит к минимуму образование частиц и гарантирует, что пластины останутся нетронутыми и безопасными во время обработки и транспортировки.

Улучшенный дизайн для оптимальной производительностиСемицераПолупроводниковая кассетаимеет тщательно разработанную конструкцию, которая обеспечивает точное выравнивание пластин, снижая риск смещения и механического повреждения. Слоты кассеты расположены идеально, чтобы надежно удерживать каждую пластину, предотвращая любое движение, которое может привести к появлению царапин или других дефектов.

Универсальность и совместимостьПолупроводниковая кассетауниверсален и совместим с пластинами различных размеров, что делает его пригодным для различных этапов производства полупроводников. Независимо от того, работаете ли вы со стандартными или нестандартными размерами пластин, эта кассета адаптируется к вашим потребностям, обеспечивая гибкость в ваших производственных процессах.

Упрощенное управление и эффективностьРазработанный с учетом потребностей пользователя,Полупроводниковая кассета SemiceraЛегок и прост в обращении, что позволяет быстро и эффективно осуществлять погрузку и разгрузку. Этот эргономичный дизайн не только экономит время, но и снижает риск человеческой ошибки, обеспечивая бесперебойную работу вашего предприятия.

Соответствие отраслевым стандартамSemicera гарантирует, чтоПолупроводниковая кассетасоответствует самым высоким отраслевым стандартам качества и надежности. Каждая кассета проходит тщательное тестирование, чтобы гарантировать стабильную работу в жестких условиях производства полупроводников. Такая приверженность качеству гарантирует, что ваши пластины всегда будут защищены, поддерживая высокие стандарты, необходимые в отрасли.

Предметы

Производство

Исследовать

Дурачок

Параметры кристалла

Политип

4H

Ошибка ориентации поверхности

<11-20 >4±0,15°

Электрические параметры

легирующая примочка

Азот n-типа

Удельное сопротивление

0,015-0,025 Ом·см

Механические параметры

Диаметр

150,0±0,2 мм

Толщина

350±25 мкм

Первичная плоская ориентация

[1-100]±5°

Первичная плоская длина

47,5±1,5 мм

Вторичная квартира

Никто

ТТВ

≤5 мкм

≤10 мкм

≤15 мкм

Общая ценность

≤3 мкм (5 мм*5 мм)

≤5 мкм (5 мм*5 мм)

≤10 мкм (5 мм*5 мм)

Поклон

-15 мкм ~ 15 мкм

-35 мкм ~ 35 мкм

-45 мкм ~ 45 мкм

Деформация

≤35 мкм

≤45 мкм

≤55 мкм

Шероховатость передней поверхности (Si-face) (AFM)

Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм)

Структура

Плотность микротрубок

<1 шт./см2

<10 шт/см2

<15 шт/см2

Металлические примеси

≤5E10атомов/см2

NA

БЛД

≤1500 шт/см2

≤3000 шт/см2

NA

ТСД

≤500 шт/см2

≤1000 шт/см2

NA

Переднее качество

Передний

Si

Чистота поверхности

Si-лицо CMP

Частицы

≤60 шт/пластина (размер≥0,3 мкм)

NA

Царапины

≤5 шт./мм. Совокупная длина ≤Диаметр

Совокупная длина≤2*диаметр

NA

Апельсиновая корка/косточки/пятна/бороздки/трещины/загрязнения

Никто

NA

Краевые сколы/вмятины/изломы/шестигранные пластины

Никто

Политипные области

Никто

Совокупная площадь≤20%

Совокупная площадь≤30%

Передняя лазерная маркировка

Никто

Назад Качество

Задняя отделка

C-образная грань CMP

Царапины

≤5 шт./мм, совокупная длина≤2*диаметр

NA

Дефекты задней стороны (сколы/вмятины по краям)

Никто

Задняя шероховатость

Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм)

Задняя лазерная маркировка

1 мм (от верхнего края)

Край

Край

Фаска

Упаковка

Упаковка

Эпи-готовность в вакуумной упаковке

Многовафельная кассетная упаковка

*Примечания: «NA» означает отсутствие запроса. Неуказанные элементы могут относиться к SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC пластины

  • Предыдущий:
  • Следующий: