СемицерапредставляетПолупроводниковая кассета, важный инструмент для безопасного и эффективного обращения с пластинами на протяжении всего процесса производства полупроводников. Эта кассета, разработанная с высокой точностью, обеспечивает безопасное хранение и транспортировку ваших пластин, сохраняя их целостность на каждом этапе.
Превосходная защита и долговечностьПолупроводниковая кассетаот Semicera создан для обеспечения максимальной защиты ваших пластин. Изготовленный из прочных, устойчивых к загрязнению материалов, он защищает ваши пластины от потенциальных повреждений и загрязнений, что делает его идеальным выбором для чистых помещений. Конструкция кассеты сводит к минимуму образование частиц и гарантирует, что пластины останутся нетронутыми и безопасными во время обработки и транспортировки.
Улучшенный дизайн для оптимальной производительностиСемицераПолупроводниковая кассетаимеет тщательно разработанную конструкцию, которая обеспечивает точное выравнивание пластин, снижая риск смещения и механического повреждения. Слоты кассеты расположены идеально, чтобы надежно удерживать каждую пластину, предотвращая любое движение, которое может привести к появлению царапин или других дефектов.
Универсальность и совместимостьПолупроводниковая кассетауниверсален и совместим с пластинами различных размеров, что делает его пригодным для различных этапов производства полупроводников. Независимо от того, работаете ли вы со стандартными или нестандартными размерами пластин, эта кассета адаптируется к вашим потребностям, обеспечивая гибкость в ваших производственных процессах.
Упрощенное управление и эффективностьРазработанный с учетом потребностей пользователя,Полупроводниковая кассета SemiceraЛегок и прост в обращении, что позволяет быстро и эффективно осуществлять погрузку и разгрузку. Этот эргономичный дизайн не только экономит время, но и снижает риск человеческой ошибки, обеспечивая бесперебойную работу вашего предприятия.
Соответствие отраслевым стандартамSemicera гарантирует, чтоПолупроводниковая кассетасоответствует самым высоким отраслевым стандартам качества и надежности. Каждая кассета проходит тщательное тестирование, чтобы гарантировать стабильную работу в жестких условиях производства полупроводников. Такая приверженность качеству гарантирует, что ваши пластины всегда будут защищены, поддерживая высокие стандарты, необходимые в отрасли.
| Предметы | Производство | Исследовать | Дурачок |
| Параметры кристалла | |||
| Политип | 4H | ||
| Ошибка ориентации поверхности | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрические параметры | |||
| легирующая примочка | Азот n-типа | ||
| Удельное сопротивление | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механические параметры | |||
| Диаметр | 150,0±0,2 мм | ||
| Толщина | 350±25 мкм | ||
| Первичная плоская ориентация | [1-100]±5° | ||
| Первичная плоская длина | 47,5±1,5 мм | ||
| Вторичная квартира | Никто | ||
| ТТВ | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| Общая ценность | ≤3 мкм (5 мм*5 мм) | ≤5 мкм (5 мм*5 мм) | ≤10 мкм (5 мм*5 мм) |
| Поклон | -15 мкм ~ 15 мкм | -35 мкм ~ 35 мкм | -45 мкм ~ 45 мкм |
| Деформация | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Шероховатость передней поверхности (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Структура | |||
| Плотность микротрубок | <1 шт./см2 | <10 шт/см2 | <15 шт/см2 |
| Металлические примеси | ≤5E10атомов/см2 | NA | |
| БЛД | ≤1500 шт/см2 | ≤3000 шт/см2 | NA |
| ТСД | ≤500 шт/см2 | ≤1000 шт/см2 | NA |
| Переднее качество | |||
| Передний | Si | ||
| Чистота поверхности | Si-лицо CMP | ||
| Частицы | ≤60 шт/пластина (размер≥0,3 мкм) | NA | |
| Царапины | ≤5 шт./мм. Совокупная длина ≤Диаметр | Совокупная длина≤2*диаметр | NA |
| Апельсиновая корка/косточки/пятна/бороздки/трещины/загрязнения | Никто | NA | |
| Краевые сколы/вмятины/изломы/шестигранные пластины | Никто | ||
| Политипные области | Никто | Совокупная площадь≤20% | Совокупная площадь≤30% |
| Передняя лазерная маркировка | Никто | ||
| Назад Качество | |||
| Задняя отделка | C-образная грань CMP | ||
| Царапины | ≤5 шт./мм, совокупная длина≤2*диаметр | NA | |
| Дефекты задней стороны (сколы/вмятины по краям) | Никто | ||
| Задняя шероховатость | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Задняя лазерная маркировка | 1 мм (от верхнего края) | ||
| Край | |||
| Край | Фаска | ||
| Упаковка | |||
| Упаковка | Готовность к эпидемии в вакуумной упаковке Многовафельная кассетная упаковка | ||
| *Примечания: «NA» означает отсутствие запроса. Неуказанные элементы могут относиться к SEMI-STD. | |||
