Полупроводниковый нагреватель подложки MOCVD, нагревательный элемент MOCVD

Краткое описание:

Новые оптимизированные нагреватели с цельнометаллической конструкцией способны значительно сдерживать деформацию при высоких температурах. Это дает им множество преимуществ в использовании, таких как: высокая повторяемость, высокая однородность, высокая надежность и высокая совместимость.

Отправьте нам электронное письмо

Детали продукта

Теги продукта

Описание

Нагреватель подложки MOCVD, нагревательные элементы для MOCVD
Графитовый нагреватель:
Компоненты графитового нагревателя используются в высокотемпературной печи с температурой, достигающей 2200 градусов в вакуумной среде и 3000 градусов в среде раскисленного и введенного газа.

MOCVD-Подложка-Нагреватель-Нагревательные элементы-Для-MOCVD2-300x300

MOCVD-Подложка-Нагреватель-Нагревательные элементы-Для-MOCVD3-300x300

MOCVD-Подложка-Нагреватель-Нагревательные элементы-Для-MOCVD-300x300

Основные характеристики графитового нагревателя

1. однородность нагревательной структуры.
2. Хорошая электропроводность и высокая электрическая нагрузка.
3. коррозионная стойкость.
4. неокисляемость.
5. Высокая химическая чистота.
6. высокая механическая прочность.
Преимуществом является энергоэффективность, высокая стоимость и низкие эксплуатационные расходы.
Мы можем производить антиокислительные и долговечные графитовые тигли, графитовые формы и все части графитовых нагревателей.

Химический графит

Преимущество: высокая термостойкость.
Применение: MOCVD/вакуумная печь/горячая зона
Объемная плотность: 1,68-1,91 г/см3
Прочность на изгиб: 30-46 МПа
Сопротивление: 7-12 мкОмм

Основные параметры графитового нагревателя

Техническая спецификация	ВЭТ-М3
Объемная плотность (г/см3)	≥1,85
Содержание золы (PPM)	≤500
Твердость по Шору	≥45
Удельное сопротивление (мкОм.м)	≤12
Прочность на изгиб (МПа)	≥40
Прочность на сжатие (МПа)	≥70
Макс. Размер зерна (мкм)	≤43
Коэффициент теплового расширения мм/°C	≤4,4*10-6

Графитовый нагреватель для электропечи обладает свойствами термостойкости, стойкости к окислению, хорошей электропроводности и лучшей механической прочности. Мы можем обрабатывать различные типы графитовых нагревателей по проектам клиентов.

Профиль компании

около (3)
WeiTai Energy Technology Co., Ltd. является ведущим поставщиком современной полупроводниковой керамики и единственным производителем в Китае, который может одновременно поставлять керамику из карбида кремния высокой чистоты (особенно рекристаллизованный SiC) и покрытие CVD SiC. Кроме того, наша компания также занимается керамическим производством, таким как оксид алюминия, нитрид алюминия, цирконий, нитрид кремния и т. д.

Наша основная продукция включает в себя: травильный диск из карбида кремния, лодочный жгут из карбида кремния, лодочку для пластин из карбида кремния (фотоэлектрические и полупроводниковые), печную трубку из карбида кремния, консольную лопасть из карбида кремния, патроны из карбида кремния, балку из карбида кремния, а также CVD-покрытие SiC и TaC. покрытие. Продукция, в основном используемая в полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности, такая как оборудование для выращивания кристаллов, эпитаксии, травления, упаковки, нанесения покрытий и диффузионных печей и т. д.

Наша компания располагает полным производственным оборудованием, таким как оборудование для формования, спекания, обработки, нанесения покрытий и т. д., которое может завершить все необходимые звенья производства продукции и обеспечить более высокий контроль качества продукции; Оптимальный план производства может быть выбран в соответствии с потребностями продукта, что приводит к снижению затрат и предоставлению клиентам более конкурентоспособной продукции; Мы можем гибко и эффективно планировать производство в зависимости от требований к доставке заказа и в сочетании с онлайн-системами управления заказами, предоставляя клиентам более быстрые и гарантированные сроки доставки.
Гуйцзяо