Процесс с покрытием SiC для графитовой основы Графитовые носители с покрытием SiC

Краткое описание:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. является ведущим поставщиком современной полупроводниковой керамики. Наша основная продукция включает в себя: гравированные диски из карбида кремния, прицепы для лодок из карбида кремния, корабли с пластинами из карбида кремния (PV и полупроводники), печные трубы из карбида кремния, консольные лопасти из карбида кремния, патроны из карбида кремния, балки из карбида кремния, а также покрытия SiC CVD и ТаС-покрытия.
Продукция в основном используется в полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности, например, в оборудовании для выращивания кристаллов, эпитаксии, травления, упаковки, нанесения покрытий и диффузионных печей.

 

Детали продукта

Теги продукта

Описание

Мы соблюдаем очень жесткие допуски при примененииSiC-покрытие, используя высокоточную обработку для обеспечения однородного профиля токоприемника. Мы также производим материалы с идеальными свойствами электрического сопротивления для использования в системах с индуктивным нагревом. Все готовые компоненты имеют сертификат чистоты и соответствия размеров.

Наша компания предоставляетSiC-покрытиетехнологические услуги методом CVD на поверхности графита, керамики и других материалов, так что специальные газы, содержащие углерод и кремний, реагируют при высокой температуре с получением молекул SiC высокой чистоты, молекулы осаждаются на поверхности материалов с покрытием, образуя защитный слой SIC. Образованный SIC прочно связан с графитовой основой, придавая графитовой основе особые свойства, что делает поверхность графита компактной, непористой, устойчивой к высоким температурам, коррозионной стойкости и стойкости к окислению.

подруга (1)

Процесс CVD обеспечивает чрезвычайно высокую чистоту и теоретическую плотностьSiC-покрытиебез пористости. Более того, поскольку карбид кремния очень твердый, его можно отполировать до зеркальной поверхности.CVD-покрытие из карбида кремния (SiC)обеспечивает ряд преимуществ, включая сверхвысокую чистоту поверхности и исключительную износостойкость. Поскольку продукты с покрытием обладают отличными характеристиками в условиях высокого вакуума и высоких температур, они идеально подходят для применения в полупроводниковой промышленности и других сверхчистых средах. Мы также предлагаем продукцию из пиролитического графита (PG).

 

Основные характеристики

1. Устойчивость к высокотемпературному окислению:
стойкость к окислению остается очень хорошей при температуре до 1600 C.
2. Высокая чистота: производится методом химического осаждения из паровой фазы в условиях высокотемпературного хлорирования.
3. Устойчивость к эрозии: высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.
4. Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.

Главная-05

Главная-04

Главная-03

Основные характеристики покрытий CVD-SIC

SiC-CVD
Плотность (г/см3) 3.21
Прочность на изгиб (МПа) 470
Тепловое расширение (10-6/К) 4
Теплопроводность (Вт/мК) 300

Приложение

Покрытие CVD из карбида кремния уже применяется в полупроводниковой промышленности, например, в лотках MOCVD, RTP и камерах оксидного травления, поскольку нитрид кремния обладает высокой термостойкостью и может выдерживать плазму высокой энергии.
-Карбид кремния широко используется в полупроводниках и покрытиях.

Приложение

Возможность поставки:
10000 шт./шт. в месяц
Упаковка и доставка:
Упаковка: стандартная и прочная упаковка
Полиэтиленовый пакет + коробка + коробка + поддон
Порт:
Нинбо/Шэньчжэнь/Шанхай
Время выполнения:

Количество (штук) 1 – 1000 >1000
Стандартное восточное время. Время (дни) 30 Для переговоров
Семицера Рабочее место
Семицера рабочее место 2
Оборудование машины
Обработка CNN, химическая очистка, покрытие CVD
Наш сервис

  • Предыдущий:
  • Следующий: