СемицераКерамическое покрытие из карбида кремнияпредставляет собой высокоэффективное защитное покрытие, изготовленное из чрезвычайно твердого и износостойкого материала карбида кремния (SiC). Покрытие обычно наносится на поверхность подложки методом CVD или PVD.частицы карбида кремния, обеспечивая превосходную стойкость к химической коррозии и стабильность при высоких температурах. Поэтому керамическое покрытие из карбида кремния широко используется в ключевых компонентах оборудования для производства полупроводников.
В производстве полупроводниковSiC-покрытиеможет выдерживать чрезвычайно высокие температуры до 1600°C, поэтому керамическое покрытие из карбида кремния часто используется в качестве защитного слоя для оборудования или инструментов для предотвращения повреждений при высоких температурах или агрессивных средах.
В то же время,керамическое покрытие из карбида кремнияможет противостоять эрозии кислот, щелочей, оксидов и других химических реагентов и обладает высокой коррозионной стойкостью к различным химическим веществам. Поэтому этот продукт подходит для различных агрессивных сред в полупроводниковой промышленности.
Более того, по сравнению с другими керамическими материалами SiC обладает более высокой теплопроводностью и может эффективно проводить тепло. Эта особенность определяет, что в полупроводниковых процессах, требующих точного контроля температуры, высокая теплопроводностьКерамическое покрытие из карбида кремнияпомогает равномерно рассеивать тепло, предотвращать локальный перегрев и обеспечивать работу устройства при оптимальной температуре.
| Основные физические свойства покрытия CVD sic | |
| Свойство | Типичное значение |
| Кристаллическая структура | FCC β-фаза поликристаллическая, преимущественно (111) ориентированная |
| Плотность | 3,21 г/см³ |
| Твердость | Твердость 2500 по Виккерсу (нагрузка 500 г) |
| Размер зерна | 2~10 мкм |
| Химическая чистота | 99,99995% |
| Теплоемкость | 640 Дж·кг-1·К-1 |
| Температура сублимации | 2700℃ |
| изгибная прочность | 415 МПа РТ 4-точечный |
| Модуль Юнга | Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃ |
| Теплопроводность | 300 Вт·м-1·К-1 |
| Тепловое расширение (КТР) | 4,5×10-6K-1 |
