Керамическое покрытие из карбида кремния

СемицераКерамическое покрытие из карбида кремнияпредставляет собой высокоэффективное защитное покрытие, изготовленное из чрезвычайно твердого и износостойкого материала карбида кремния (SiC). Покрытие обычно наносится на поверхность подложки методом CVD или PVD.частицы карбида кремния, обеспечивая превосходную стойкость к химической коррозии и стабильность при высоких температурах. Поэтому керамическое покрытие из карбида кремния широко используется в ключевых компонентах оборудования для производства полупроводников.

В производстве полупроводниковSiC-покрытиеможет выдерживать чрезвычайно высокие температуры до 1600°C, поэтому керамическое покрытие из карбида кремния часто используется в качестве защитного слоя для оборудования или инструментов для предотвращения повреждений при высоких температурах или агрессивных средах.

В то же время,керамическое покрытие из карбида кремнияможет противостоять эрозии кислот, щелочей, оксидов и других химических реагентов и обладает высокой коррозионной стойкостью к различным химическим веществам. Поэтому этот продукт подходит для различных агрессивных сред в полупроводниковой промышленности.

Более того, по сравнению с другими керамическими материалами SiC обладает более высокой теплопроводностью и может эффективно проводить тепло. Эта особенность определяет, что в полупроводниковых процессах, требующих точного контроля температуры, высокая теплопроводностьКерамическое покрытие из карбида кремнияпомогает равномерно рассеивать тепло, предотвращать локальный перегрев и обеспечивать работу устройства при оптимальной температуре.