Шлифовальный диск для пластин из карбида кремния, Ras0,2um

Краткое описание:

Коэффициент термического расширения шлифовального диска из карбида кремния небольшой, высокая прочность, высокая твердость, длительный срок службы, низкая стоимость, а коэффициент теплового расширения в основном такой же, как у кремниевой пластины, использование шлифовального диска из карбида кремния может решить высокие требования к шлифованию. и полировка, улучшают качество и эффективность шлифования.В основном используется в крупномасштабных кремниевых подложках интегральных схем и полировке кремниевых пластин в фотоэлектрической промышленности.

Отправьте нам электронное письмо

Детали продукта

Теги продукта

Шлифовальный диск является важным технологическим оборудованием для производства кремниевых пластин для сверхбольших интегральных схем в полупроводниковой промышленности. Обычно используемый шлифовальный диск из чугуна или углеродистой стали имеет низкий срок службы и большой коэффициент теплового расширения. В процессе обработки кремниевых пластин, особенно в процессе высокоскоростного шлифования или полирования, плоскостность и параллельность кремниевых пластин трудно обеспечить из-за износа и термической деформации шлифовального диска.

Шлифовальный диск из карбидокремниевой керамики можно шлифовать и полировать на высокой скорости из-за высокой твердости и небольшого износа шлифовального диска, а коэффициент теплового расширения в основном такой же, как у кремниевой пластины. Особенно в последние годы размеры кремниевых пластин становятся все больше и больше, что выдвигает более высокие требования к качеству и эффективности шлифования кремниевых пластин.

Использование керамического шлифовального диска из карбида кремния значительно улучшит качество и эффективность шлифования кремниевых пластин. В то же время керамический шлифовальный диск из карбида кремния также можно использовать для шлифования и полировки плоскости других материалов, таких как чешуйки или блочные предметы. С развитием индустриализации, особенно с внедрением международного стандарта ISO14000, выдвигаются более высокие требования к транспортировке жидкостей, не способствующих охране окружающей среды.

Одной из наиболее важных характеристик керамики из карбида кремния является ее высокотемпературная прочность, то есть прочность практически не снижается при температуре 1600 градусов, а стойкость к окислению очень хорошая, поэтому ее можно использовать в высокотемпературных конструкционных деталях. Например, верхняя пластина высокотемпературной печи, опора и приспособления для высокотемпературных экспериментов.

СемицераEnergy Technology Co., Ltd занимается профессиональными исследованиями, разработками, производством и продажей керамических изделий из карбида кремния.С момента своего создания в 2016 годуСемицераКомпания Energy освоила процесс формования изостатическим прессованием, процесс тысячного прессования, процесс формования цементным раствором и процесс вакуумного экструзионного формования. Наша компания использует 6 производственных линий для спекания керамики из карбида кремния, имеет 8 станков с ЧПУ, 6 прецизионных шлифовальных станков, также может предоставить вам спеченные изделия из карбидокремниевой керамики, а также предоставить услуги по обработке керамики из карбида кремния, глиноземной керамики, керамики из нитрида алюминия, циркониевой керамики. .