Термополевой материал для выращивания кристаллов карбида кремния – пористый карбид тантала.

Краткое описание:

Пористый карбид тантала в основном используется для фильтрации компонентов газовой фазы, регулирования локального температурного градиента, направления потока материала, контроля утечек и т. д. Его можно использовать с другим твердым карбидом тантала (компактным) или покрытием из карбида тантала от Semicera Technology для формирования локальных компонентов. с различной проводимостью потока.

Отправьте нам электронное письмо

Детали продукта

Теги продукта

Semicera предлагает специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей.Передовой процесс нанесения покрытий Semicera позволяет покрытиям из карбида тантала (TaC) достигать высокой чистоты, высокой температурной стабильности и высокой химической стойкости, улучшая качество продукции кристаллов SIC/GAN и слоев EPI (Токоприемник TaC с графитовым покрытием), а также продление срока службы ключевых компонентов реактора. Использование покрытия TaC из карбида тантала призвано решить проблему кромок и улучшить качество роста кристаллов, а компания Semicera совершила прорыв в технологии покрытия из карбида тантала (CVD), достигнув международного передового уровня.

После многих лет развития компания Semicera овладела технологиейССЗ TaCсовместными усилиями отдела исследований и разработок. Дефекты легко возникают в процессе роста пластин SiC, но после использованияТаС, разница существенная. Ниже приведено сравнение пластин с TaC и без него, а также деталей Semicera для выращивания монокристаллов.

Тактическая часть для выращивания монокристалла

Противоизносное покрытие из карбида тантала_ Защищает оборудование от износа и коррозии Избранное изображение

Графит с кольцом с покрытием TaC

с ТАК и без него

После использования TaC (справа)

Кроме того, срок службы продуктов с покрытием TaC компании Semicera дольше и более устойчив к высоким температурам, чем у покрытий SiC. После длительного периода лабораторных измерений наш TaC может долго работать при температуре максимум 2300 градусов по Цельсию. Ниже приведены некоторые из наших образцов: