Semicera предлагает специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей.Передовой процесс нанесения покрытий Semicera позволяет покрытиям из карбида тантала (TaC) достигать высокой чистоты, высокой температурной стабильности и высокой химической стойкости, улучшая качество продукции кристаллов SIC/GAN и слоев EPI (Токоприемник TaC с графитовым покрытием), а также продление срока службы ключевых компонентов реактора. Использование покрытия TaC из карбида тантала призвано решить проблему кромок и улучшить качество роста кристаллов, а компания Semicera совершила прорыв в технологии покрытия из карбида тантала (CVD), достигнув международного передового уровня.
С появлением 8-дюймовых пластин карбида кремния (SiC) требования к различным полупроводниковым процессам стали более строгими, особенно к процессам эпитаксии, где температура может превышать 2000 градусов Цельсия. Традиционные токоприемники, такие как графит, покрытый карбидом кремния, имеют тенденцию к сублимации при таких высоких температурах, нарушая процесс эпитаксии. Однако карбид тантала CVD (TaC) эффективно решает эту проблему, выдерживая температуры до 2300 градусов Цельсия и обеспечивая более длительный срок службы. Свяжитесь с Semicera's Верхний полумесяц с покрытием из карбида тантала CVDчтобы узнать больше о наших передовых решениях.
После многих лет развития компания Semicera овладела технологиейССЗ TaCсовместными усилиями отдела исследований и разработок. Дефекты легко возникают в процессе роста пластин SiC, но после использованияТаС, разница существенная. Ниже приведено сравнение пластин с TaC и без него, а также деталей Simicera для выращивания монокристаллов.
с ТАК и без него
После использования TaC (справа)
Более того, компания SemiceraИзделия с покрытием TaCимеют более длительный срок службы и большую устойчивость к высоким температурам по сравнению сSiC-покрытия.Лабораторные измерения показали, что нашиTaC-покрытияможет стабильно работать при температуре до 2300 градусов по Цельсию в течение длительного времени. Ниже приведены некоторые примеры наших образцов:
Токоприемник с покрытием TaC
Графит с реактором с покрытием TaC
