Полупроводниковые материалы третьего поколения в основном включают SiC, GaN, алмаз и т. д., поскольку ширина запрещенной зоны (Eg) превышает или равна 2,3 электрон-вольта (эВ), они также известны как полупроводниковые материалы с широкой запрещенной зоной. По сравнению с полупроводниковыми материалами первого и второго поколения полупроводниковые материалы третьего поколения обладают преимуществами высокой теплопроводности, сильного электрического поля пробоя, высокой скорости миграции насыщенных электронов и высокой энергии связи, что может удовлетворить новые требования современной электронной технологии для высокой температура, высокая мощность, высокое давление, высокая частота и радиационная стойкость и другие суровые условия. Он имеет важные перспективы применения в области национальной обороны, авиации, аэрокосмической промышленности, разведки нефти, оптического хранения и т. д. и может снизить потери энергии более чем на 50% во многих стратегических отраслях, таких как широкополосная связь, солнечная энергетика, автомобилестроение, полупроводниковое освещение и интеллектуальные сети позволяют сократить объем оборудования более чем на 75%, что имеет важное значение для развития человеческой науки и технологий.
Товар 项目 | GaN-FS-CU-C50 | GaN-FS-CN-C50 | GaN-FS-C-SI-C50 |
Диаметр | 50,8 ± 1 мм | ||
Толщина厚度 | 350 ± 25 мкм | ||
Ориентация | Угол наклона плоскости C (0001) к оси M 0,35 ± 0,15°. | ||
Прайм Флэт | (1-100) 0 ± 0,5°, 16 ± 1 мм | ||
Вторичная квартира | (11-20) 0 ± 3°, 8 ± 1 мм | ||
Проводимость | N-тип | N-тип | Полуизоляционный |
Сопротивление (300К) | < 0,1 Ом·см | < 0,05 Ом·см | > 106 Ом·см |
ТТВ | ≤ 15 мкм | ||
ПОКЛОН | ≤ 20 мкм | ||
Шероховатость поверхности торца Ga | < 0,2 нм (полированный); | ||
или < 0,3 нм (полировка и обработка поверхности для эпитаксии) | |||
N Шероховатость торцевой поверхности | 0,5 ~ 1,5 мкм | ||
опция: 1~3 нм (тонкая шлифовка); < 0,2 нм (полированный) | |||
Плотность дислокаций | От 1 х 105 до 3 х 106 см-2 (в расчете по CL)* | ||
Плотность макродефектов | < 2 см-2 | ||
Полезная площадь | > 90% (исключение краевых и макродефектов) | ||
Могут быть настроены в соответствии с требованиями заказчика, с различной структурой эпитаксиального листа GaN на основе кремния, сапфира, карбида кремния. |