Высококачественная консольная лопатка из карбида кремния, изготовленная по индивидуальному заказу.

Краткое описание:

Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd. — ведущий поставщик, специализирующийся на пластинах и современных полупроводниковых расходных материалах.Мы стремимся предоставлять высококачественную, надежную и инновационную продукцию для производства полупроводников,фотоэлектрическая промышленностьи другие смежные области.

Наша линейка продуктов включает графитовые изделия с покрытием SiC/TaC и керамические изделия, включающие в себя различные материалы, такие как карбид кремния, нитрид кремния, оксид алюминия и т. д.

Как надежный поставщик, мы понимаем важность расходных материалов в производственном процессе и стремимся поставлять продукцию, соответствующую самым высоким стандартам качества, чтобы удовлетворить потребности наших клиентов.

 

Детали продукта

Теги продукта

Semicera представляет качественный кастомконсольные лопатки из карбида кремниясозданный для улучшения процессов производства полупроводников. Инновационныйкарбид кремния лопаткаКонструкция обеспечивает исключительную долговечность и высокую термостойкость, что делает его незаменимым компонентом при работе с пластинами в сложных высокотемпературных условиях.

Лопасть из карбида кремниясоздан так, чтобы выдерживать экстремальные термические циклы, сохраняя при этом структурную целостность и обеспечивая надежную транспортировку пластин на критических этапах производства полупроводников. Обладая превосходной механической прочностью, этовафельный корабликминимизирует риск повреждения пластин, что приводит к более высокому выходу и стабильному качеству продукции.

Одна из ключевых инноваций в карбид-кремниевых лопатках Semicera заключается в возможности индивидуального дизайна. Лопатка, специально разработанная для удовлетворения конкретных производственных потребностей, обеспечивает гибкость интеграции с различными конфигурациями оборудования, что делает ее идеальным решением для современных производственных процессов. Легкая, но прочная конструкция упрощает обращение и сокращает время простоя в работе, способствуя повышению эффективности производства полупроводников.

Помимо своих термических и механических свойств,Лопасть из карбида кремнияобеспечивает превосходную химическую стойкость, что позволяет ему надежно работать даже в агрессивных химических средах. Это делает его особенно подходящим для использования в процессах, включающих травление, осаждение и высокотемпературную обработку, где сохранение целостности лодочки для пластин имеет решающее значение для обеспечения высококачественной продукции.

 

Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния

Свойство

Типичное значение

Рабочая температура (°С)

1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)

содержание карбида кремния

> 99,96%

Бесплатный Si-контент

< 0,1%

Объемная плотность

2,60-2,70 г/см3

Кажущаяся пористость

< 16%

Сила сжатия

> 600 МПа

Прочность на холодный изгиб

80-90 МПа (20°С)

Прочность на горячий изгиб

90-100 МПа (1400°С)

Тепловое расширение при 1500°C

4,70 10-6/°С

Теплопроводность при 1200°C

23 Вт/м•К

Модуль упругости

240 ГПа

Устойчивость к термическому удару

Очень хорошо

Консольное весло (21)
Консольное весло (20)
fd658ca43ee41331d035aad94b7a9cc
Семицера Рабочее место
Семицера рабочее место 2
Оборудование машины
Обработка CNN, химическая очистка, покрытие CVD
Склад Семицера
Наш сервис

  • Предыдущий:
  • Следующий: