Semicera представляет качественный кастомконсольные лопатки из карбида кремниясозданный для улучшения процессов производства полупроводников. Инновационныйкарбид кремния лопаткаКонструкция обеспечивает исключительную долговечность и высокую термостойкость, что делает его незаменимым компонентом при работе с пластинами в сложных высокотемпературных условиях.
Лопасть из карбида кремниясоздан так, чтобы выдерживать экстремальные температурные циклы, сохраняя при этом структурную целостность и обеспечивая надежную транспортировку пластин на критических этапах производства полупроводников. Обладая превосходной механической прочностью, этовафельный корабликминимизирует риск повреждения пластин, что приводит к более высокому выходу и стабильному качеству продукции.
Одна из ключевых инноваций в карбид-кремниевых лопатках Semicera заключается в возможности индивидуального дизайна. Лопатка, специально разработанная для удовлетворения конкретных производственных потребностей, обеспечивает гибкость интеграции с различными конфигурациями оборудования, что делает ее идеальным решением для современных производственных процессов. Легкая, но прочная конструкция упрощает обращение и сокращает время простоя в работе, способствуя повышению эффективности производства полупроводников.
Помимо своих термических и механических свойств,Лопасть из карбида кремнияобеспечивает превосходную химическую стойкость, что позволяет ему надежно работать даже в агрессивных химических средах. Это делает его особенно подходящим для использования в процессах, включающих травление, осаждение и высокотемпературную обработку, где сохранение целостности лодочки для пластин имеет решающее значение для обеспечения высококачественной продукции.
Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния | |
Свойство | Типичное значение |
Рабочая температура (°С) | 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда) |
содержание карбида кремния | > 99,96% |
Бесплатный Si-контент | < 0,1% |
Объемная плотность | 2,60-2,70 г/см3 |
Кажущаяся пористость | < 16% |
Сила сжатия | > 600 МПа |
Прочность на холодный изгиб | 80-90 МПа (20°С) |
Прочность на горячий изгиб | 90-100 МПа (1400°С) |
Тепловое расширение при 1500°C | 4,70 10-6/°С |
Теплопроводность при 1200°C | 23 Вт/м•К |
Модуль упругости | 240 ГПа |
Устойчивость к термическому удару | Очень хорошо |