Носители SiC-покрытий для травления полупроводников

Краткое описание:

Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd. является ведущим поставщиком современной полупроводниковой керамики. Наша основная продукция включает в себя: гравированные диски из карбида кремния, прицепы для лодок из карбида кремния, корабли с пластинами из карбида кремния (PV и полупроводники), печные трубы из карбида кремния, консольные лопасти из карбида кремния, патроны из карбида кремния, балки из карбида кремния, а также покрытия SiC CVD и ТаС-покрытия.

Продукция в основном используется в полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности, например, в оборудовании для выращивания кристаллов, эпитаксии, травления, упаковки, нанесения покрытий и диффузионных печей.

 

 


Детали продукта

Теги продукта

Описание

Наша компания предоставляет услуги по нанесению покрытия SiC методом CVD на поверхность графита, керамики и других материалов, так что специальные газы, содержащие углерод и кремний, реагируют при высокой температуре с получением молекул SiC высокой чистоты, молекул, осаждаемых на поверхности материалов с покрытием, образуя защитный слой SIC.

Основные характеристики

1. Устойчивость к высокотемпературному окислению:
стойкость к окислению остается очень хорошей при температуре до 1600 C.
2. Высокая чистота: производится методом химического осаждения из паровой фазы в условиях высокотемпературного хлорирования.
3. Устойчивость к эрозии: высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.
4. Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.

Основные характеристики покрытия CVD-SIC

Свойства SiC-CVD

Кристаллическая структура FCC β-фаза
Плотность г/см³ 3.21
Твердость Твердость по Виккерсу 2500
Размер зерна мкм 2~10
Химическая чистота % 99,99995
Теплоемкость Дж·кг-1 ·К-1 640
Температура сублимации 2700
Фелексуральная сила МПа (RT 4-точечный) 415
Модуль Юнга Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃) 430
Тепловое расширение (КТР) 10-6К-1 4,5
Теплопроводность (Вт/мК) 300
Семицера Рабочее место
Семицера рабочее место 2
Оборудование машины
Обработка CNN, химическая очистка, покрытие CVD
Наш сервис

  • Предыдущий:
  • Следующий: