СемицераКарбидные лопастиразработаны с учетом минимального теплового расширения, обеспечивая стабильность и точность в процессах, где точность размеров имеет решающее значение. Это делает их идеальными для приложений, гдевафлиподвергаются повторяющимся циклам нагрева и охлаждения, поскольку вафельный лодочка сохраняет свою структурную целостность, обеспечивая стабильную производительность.
Объединение Semiceraдиффузионные лопатки из карбида кремнияв вашу производственную линию повысит надежность вашего процесса благодаря своим превосходным термическим и химическим свойствам. Эти лопатки идеально подходят для процессов диффузии, окисления и отжига, гарантируя бережное и точное обращение с пластинами на каждом этапе.
Инновации лежат в основе деятельности Semicera.карбид кремния лопаткадизайн. Эти лопатки идеально подходят для существующего полупроводникового оборудования, обеспечивая повышенную эффективность работы. Легкая конструкция и эргономичный дизайн не только улучшают транспортировку пластин, но и сокращают время простоев в работе, что приводит к оптимизации производства.
| Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния | |
| Свойство | Типичное значение |
| Рабочая температура (°С) | 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда) |
| содержание карбида кремния | > 99,96% |
| Бесплатный Si-контент | < 0,1% |
| Объемная плотность | 2,60-2,70 г/см3 |
| Кажущаяся пористость | < 16% |
| Сила сжатия | > 600 МПа |
| Прочность на холодный изгиб | 80-90 МПа (20°С) |
| Прочность на горячий изгиб | 90-100 МПа (1400°С) |
| Тепловое расширение при 1500°C | 4,70 10-6/°С |
| Теплопроводность при 1200°C | 23 Вт/м•К |
| Модуль упругости | 240 ГПа |
| Устойчивость к термическому удару | Очень хорошо |
