Графитовый токоприемник с покрытием из карбида кремния. Носитель 8-дюймовой пластины.

CVD-SiC покрытиеИмеет характеристики однородной структуры, компактного материала, устойчивости к высоким температурам, стойкости к окислению, высокой чистоты, устойчивости к кислотам и щелочам и органических реагентов, со стабильными физическими и химическими свойствами.
 
По сравнению с графитовыми материалами высокой чистоты, графит начинает окисляться при 400°C, что приводит к потере порошка из-за окисления, что приводит к загрязнению окружающей среды периферийных устройств и вакуумных камер, а также к увеличению примесей среды высокой чистоты.
Однако,SiC-покрытиеможет сохранять физическую и химическую стабильность при температуре 1600 градусов. Он широко используется в современной промышленности, особенно в полупроводниковой промышленности.