Вафельные токоприемники из карбида кремния (SiC) для MOCVD

Краткое описание:

Токоприемник пластины из карбида кремния (SiC) является одним из ключевых компонентов, используемых в процессе химического осаждения из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD). Его основная роль заключается в мониторинге и контроле ключевых параметров процесса MOCVD для обеспечения качества роста и однородности тонкой пленки.

 


Детали продукта

Теги продукта

Описание

Токоприемники пластин из карбида кремния (SiC)для MOCVD от Semicera предназначены для передовых эпитаксиальных процессов и обеспечивают превосходную производительность как дляСи ЭпитаксияиКарбид кремниевая эпитаксияприложения. Инновационный подход Semicera гарантирует, что эти датчики долговечны и эффективны, обеспечивая стабильность и точность для критически важных производственных операций.

Разработан для удовлетворения сложных потребностейMOCVD токоприемникВ системах эти продукты универсальны и совместимы с такими носителями, как PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier и RTP Carrier. Их гибкость делает их подходящими для высокотехнологичных отраслей, в том числе работающих сСветодиодный эпитаксиальныйСуцептор и монокристаллический кремний.

Благодаря множеству конфигураций, включая цилиндрический токоприемник и блинчатый токоприемник, эти пластинчатые токоприемники также незаменимы в фотоэлектрическом секторе, поддерживая производство фотоэлектрических деталей. Для производителей полупроводников способность обрабатывать процессы эпитаксии GaN на SiC делает эти токоприемники очень ценными для обеспечения высококачественной продукции в широком спектре приложений.

 

Основные характеристики

1. Графит высокой чистоты с покрытием SiC.

2. Превосходная термостойкость и термическая однородность.

3. ХорошоSiC с кристаллическим покрытиемдля гладкой поверхности

4. Высокая стойкость к химической чистке.

 

Основные характеристики покрытий CVD-SIC:

SiC-CVD
Плотность (г/см3) 3.21
Прочность на изгиб (МПа) 470
Тепловое расширение (10-6/К) 4
Теплопроводность (Вт/мК) 300

Упаковка и доставка

Возможность поставки:
10000 шт./шт. в месяц
Упаковка и доставка:
Упаковка: стандартная и прочная упаковка
Полиэтиленовый пакет + коробка + коробка + поддон
Порт:
Нинбо/Шэньчжэнь/Шанхай
Время выполнения:

Количество (штук)

1-1000

>1000

Стандартное восточное время. Время (дни) 30 Для переговоров
Семицера Рабочее место
Семицера рабочее место 2
Оборудование машины
Обработка CNN, химическая очистка, покрытие CVD
Склад Семицера
Наш сервис

  • Предыдущий:
  • Следующий: