с покрытием TaCграфитовая основа светодиода глубокого ультрафиолета относится к процессу улучшения производительности и стабильности устройства путем нанесенияTaC-покрытиена графитовой основе при изготовлении светодиодного устройства глубокого ультрафиолета. Это покрытие может улучшить характеристики рассеивания тепла, стойкость к высоким температурам и стойкость к окислению устройства, тем самым повышая эффективность и надежность светодиодного устройства. Светодиодные устройства с глубоким ультрафиолетом обычно используются в некоторых специальных областях, таких как дезинфекция, светоотверждение и т. д., где предъявляются высокие требования к стабильности и производительности устройства. ПрименениеГрафит с покрытием TaCБаза может эффективно повысить долговечность и производительность устройства, обеспечивая важную поддержку для разработки светодиодной технологии глубокого ультрафиолета.
Semicera предлагает специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей.Передовой процесс нанесения покрытий Semicera позволяет покрытиям из карбида тантала (TaC) достигать высокой чистоты, высокой температурной стабильности и высокой химической стойкости, улучшая качество продукции кристаллов SIC/GAN и слоев EPI (Токоприемник TaC с графитовым покрытием), а также продление срока службы ключевых компонентов реактора. Использование покрытия TaC из карбида тантала призвано решить проблему кромок и улучшить качество роста кристаллов, а компания Semicera совершила прорыв в технологии покрытия из карбида тантала (CVD), достигнув международного передового уровня.
После многих лет развития компания Semicera овладела технологиейССЗ TaCсовместными усилиями отдела исследований и разработок. Дефекты легко возникают в процессе роста пластин SiC, но после использованияТаС, разница существенная. Ниже приведено сравнение пластин с TaC и без него, а также деталей Simicera для выращивания монокристаллов.
с ТАК и без него
После использования TaC (справа)
Более того, компания SemiceraИзделия с покрытием TaCимеют более длительный срок службы и большую устойчивость к высоким температурам по сравнению сSiC-покрытия.Лабораторные измерения показали, что нашиTaC-покрытияможет стабильно работать при температуре до 2300 градусов по Цельсию в течение длительного времени. Ниже приведены некоторые примеры наших образцов:
