Semicera предлагает специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей.Передовой процесс нанесения покрытий Semicera позволяет покрытиям из карбида тантала (TaC) достигать высокой чистоты, высокой температурной стабильности и высокой химической стойкости, улучшая качество продукции кристаллов SIC/GAN и слоев EPI (Токоприемник TaC с графитовым покрытием), а также продление срока службы ключевых компонентов реактора.Использование покрытия TaC из карбида тантала призвано решить проблему кромок и улучшить качество роста кристаллов, а компания Semicera совершила прорыв в технологии покрытия из карбида тантала (CVD), достигнув международного передового уровня.
Карбид кремния (SiC) является ключевым материалом в полупроводниках третьего поколения, но его производительность стала ограничивающим фактором для роста отрасли.После обширных испытаний в лабораториях Semicera было обнаружено, что напылённому и спеченному TaC не хватает необходимой чистоты и однородности.Напротив, процесс CVD обеспечивает уровень чистоты 5 частей на миллион и превосходную однородность.Использование CVD TaC значительно повышает выход пластин карбида кремния.Мы приветствуем дискуссииТрехсегментные графитовые кольца с покрытием TaC для дальнейшего снижения стоимости пластин SiC.
После многих лет развития компания Semicera овладела технологиейССЗ TaCсовместными усилиями отдела исследований и разработок.Дефекты легко возникают в процессе роста пластин SiC, но после использованияТаС, разница существенная.Ниже приведено сравнение пластин с TaC и без него, а также деталей Simicera для выращивания монокристаллов.
с ТАК и без него
После использования TaC (справа)
Более того, компания SemiceraИзделия с покрытием TaCимеют более длительный срок службы и большую устойчивость к высоким температурам по сравнению сSiC-покрытия.Лабораторные измерения показали, что нашиTaC-покрытияможет стабильно работать при температуре до 2300 градусов по Цельсию в течение длительного времени.Ниже приведены некоторые примеры наших образцов:
-
Пластина с покрытием из карбида тантала
-
Изготовление изделий из карбида тантала высокой чистоты по индивидуальному заказу
-
Тигель с CVD-покрытием из карбида тантала
-
Покрытие из карбида тантала Полумесяц
-
Кольцо с покрытием из карбида тантала
-
Трубки для выращивания кристаллов SiC с улучшенной танталовой...