TaC-покрытиепредставляет собой важное покрытие материала, которое обычно изготавливается на графитовой основе с помощью технологии химического осаждения из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD). Это покрытие обладает превосходными свойствами, такими как высокая твердость, отличная износостойкость, устойчивость к высоким температурам и химическая стабильность, и подходит для различных инженерных применений с высокими требованиями.
Технология MOCVD — это широко используемая технология выращивания тонких пленок, которая наносит пленку желаемого соединения на поверхность подложки путем реакции металлоорганических предшественников с химически активными газами при высоких температурах. При подготовкеTaC-покрытиеС помощью подходящих металлоорганических прекурсоров и источников углерода, контроля условий реакции и параметров осаждения на графитовую основу можно нанести однородную и плотную пленку TaC.
Semicera предлагает специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей.Передовой процесс нанесения покрытий Semicera позволяет покрытиям из карбида тантала (TaC) достигать высокой чистоты, высокой температурной стабильности и высокой химической стойкости, улучшая качество продукции кристаллов SIC/GAN и слоев EPI (Токоприемник TaC с графитовым покрытием), а также продление срока службы ключевых компонентов реактора. Использование покрытия TaC из карбида тантала призвано решить проблему кромок и улучшить качество роста кристаллов, а компания Semicera совершила прорыв в технологии покрытия из карбида тантала (CVD), достигнув международного передового уровня.
После многих лет развития компания Semicera овладела технологиейССЗ TaCсовместными усилиями отдела исследований и разработок. Дефекты легко возникают в процессе роста пластин SiC, но после использованияТаС, разница существенная. Ниже приведено сравнение пластин с TaC и без него, а также деталей Simicera для выращивания монокристаллов.
с ТАК и без него
После использования TaC (справа)
Более того, компания SemiceraИзделия с покрытием TaCимеют более длительный срок службы и большую устойчивость к высоким температурам по сравнению сSiC-покрытия.Лабораторные измерения показали, что нашиTaC-покрытияможет стабильно работать при температуре до 2300 градусов по Цельсию в течение длительного времени. Ниже приведены некоторые примеры наших образцов:
