Пластина с покрытием TaC — это специализированный диск, предназначенный для использования в эпитаксиальных процессах SiC и изготовленный с высокой точностью из высококачественного графитового материала. Его поверхность тщательно покрыта карбидом тантала (TaC), соединением, известным своей исключительной чистотой и прочностью. Покрытие TaC повышает долговечность и устойчивость пластины к высоким температурам, что делает ее идеальной для сложных условий эпитаксиальных процессов SiC.
Эта инновационная пластина с покрытием TaC представляет собой специализированный диск, предназначенный для использования в эпитаксиальных процессах SiC и изготовленный с высокой точностью из высококачественного графитового материала. Поверхность пластины с покрытием TaC тщательно покрыта карбидом тантала (TaC), соединением, известным своей исключительной чистотой и прочностью. служит надежной платформой для переноски пластин на различных стадиях эпитаксиального роста SiC. Его основа из графита высокой чистоты обеспечивает стабильную и инертную поверхность, а покрытие TaC обеспечивает дополнительный уровень защиты от химических реакций и износа.
семикэпохаПластина с покрытием TaC изготавливается в соответствии с конкретными требованиями клиентов, обеспечивая оптимальную производительность и совместимость с эпитаксиальными системами SiC. Будь то размер, форма или другие характеристики, эти пластины адаптированы к уникальным потребностям каждого применения.
с ТАК и без него
После использования TaC (справа)
Более того, компания SemiceraИзделия с покрытием TaCимеют более длительный срок службы и большую устойчивость к высоким температурам по сравнению сSiC-покрытия.Лабораторные измерения показали, что нашиTaC-покрытияможет стабильно работать при температуре до 2300 градусов по Цельсию в течение длительного времени. Ниже приведены некоторые примеры наших образцов:
