Semicera предлагает специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей.Передовой процесс нанесения покрытий Semicera позволяет покрытиям из карбида тантала (TaC) достигать высокой чистоты, высокой температурной стабильности и высокой химической стойкости, улучшая качество продукции кристаллов SIC/GAN и слоев EPI (Токоприемник TaC с графитовым покрытием), а также продление срока службы ключевых компонентов реактора. Использование покрытия TaC из карбида тантала призвано решить проблему кромок и улучшить качество роста кристаллов, а компания Semicera совершила прорыв в технологии покрытия из карбида тантала (CVD), достигнув международного передового уровня.
Носители пластин с покрытием из карбида тантала широко используются в процессах обработки и перемещения пластин в процессах производства полупроводников. Они обеспечивают стабильную поддержку и защиту, гарантируя безопасность, точность и стабильность пластин в процессе производства. Покрытия из карбида тантала позволяют продлить срок службы носителя, снизить затраты, повысить качество и надежность полупроводниковой продукции.
Описание носителя пластины с покрытием из карбида тантала следующее:
1. Выбор материала: Карбид тантала — это материал с отличными характеристиками, высокой твердостью, высокой температурой плавления, коррозионной стойкостью и отличными механическими свойствами, поэтому он широко используется в процессе производства полупроводников.
2. Покрытие поверхности: Покрытие из карбида тантала наносится на поверхность носителя пластины с помощью специального процесса нанесения покрытия, образуя однородное и плотное покрытие из карбида тантала. Такое покрытие способно обеспечить дополнительную защиту и износостойкость, обладая при этом хорошей теплопроводностью.
3. Плоскостность и точность: держатель пластин с покрытием из карбида тантала имеет высокую степень плоскостности и точности, обеспечивая стабильность и точность пластин во время производственного процесса. Плоскостность и чистота поверхности носителя имеют решающее значение для обеспечения качества и производительности пластины.
4. Температурная стабильность: держатели пластин с покрытием из карбида тантала могут сохранять стабильность в условиях высоких температур без деформации или ослабления, обеспечивая стабильность и однородность пластин в высокотемпературных процессах.
5. Коррозионная стойкость. Покрытия из карбида тантала обладают превосходной коррозионной стойкостью, могут противостоять эрозии химикатов и растворителей и защищать носитель от жидкостной и газовой коррозии.
с ТАК и без него
После использования TaC (справа)
Более того, компания SemiceraИзделия с покрытием TaCимеют более длительный срок службы и большую устойчивость к высоким температурам по сравнению сSiC-покрытия.Лабораторные измерения показали, что нашиTaC-покрытияможет стабильно работать при температуре до 2300 градусов по Цельсию в течение длительного времени. Ниже приведены некоторые примеры наших образцов:
