Графитовый лист с покрытием из карбида танталапредставляет собой графитовый материал с тонким слоемкарбид танталана поверхности подложки. Тонкий слой карбида тантала обычно формируется на поверхности графитовой подложки с помощью таких методов, как физическое осаждение из паровой фазы (PVD) или химическое осаждение из паровой фазы (CVD). Это покрытие обладает превосходными свойствами, такими как высокая твердость, отличная износостойкость, коррозионная стойкость и устойчивость к высоким температурам.
Semicera предлагает специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей.Передовой процесс нанесения покрытий Semicera позволяет покрытиям из карбида тантала (TaC) достигать высокой чистоты, высокой температурной стабильности и высокой химической стойкости, улучшая качество продукции кристаллов SIC/GAN и слоев EPI (Токоприемник TaC с графитовым покрытием), а также продление срока службы ключевых компонентов реактора. Использование покрытия TaC из карбида тантала призвано решить проблему кромок и улучшить качество роста кристаллов, а компания Semicera совершила прорыв в технологии покрытия из карбида тантала (CVD), достигнув международного передового уровня.
После многих лет развития компания Semicera овладела технологиейССЗ TaCсовместными усилиями отдела исследований и разработок. Дефекты легко возникают в процессе роста пластин SiC, но после использованияТаС, разница существенная. Ниже приведено сравнение пластин с TaC и без него, а также деталей Simicera для выращивания монокристаллов.
К основным преимуществам графитового листа с покрытием из карбида тантала относятся:
1. Устойчивость к высоким температурам: карбид тантала имеет высокую температуру плавления и превосходную стабильность при высоких температурах, что делает графитовый лист с покрытием пригодным для использования в условиях высоких температур.
2. Коррозионная стойкость: покрытие из карбида тантала может противостоять эрозии многих химических коррозийных веществ и продлевать срок службы материала.
3. Высокая твердость. Высокая твердость тонкого слоя карбида тантала обеспечивает хорошую износостойкость и подходит для применений, требующих высокой износостойкости.
4. Химическая стабильность. Покрытие из карбида тантала обладает превосходной устойчивостью к химической коррозии и подходит для использования в некоторых агрессивных средах.
с ТАК и без него
После использования TaC (справа)
Более того, компания SemiceraИзделия с покрытием TaCимеют более длительный срок службы и большую устойчивость к высоким температурам по сравнению сSiC-покрытия.Лабораторные измерения показали, что нашиTaC-покрытияможет стабильно работать при температуре до 2300 градусов по Цельсию в течение длительного времени. Ниже приведены некоторые примеры наших образцов:
