Semicera предлагает специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей.Передовой процесс нанесения покрытий Semicera позволяет покрытиям из карбида тантала (TaC) достигать высокой чистоты, высокой температурной стабильности и высокой химической стойкости, улучшая качество продукции кристаллов SIC/GAN и слоев EPI (Токоприемник TaC с графитовым покрытием), а также продление срока службы ключевых компонентов реактора. Использование покрытия TaC из карбида тантала призвано решить проблему кромок и улучшить качество роста кристаллов, а компания Semicera совершила прорыв в технологии покрытия из карбида тантала (CVD), достигнув международного передового уровня.
Графит — превосходный высокотемпературный материал, но он легко окисляется при высоких температурах. Даже в вакуумных печах с инертным газом он все равно может медленно окисляться. Использование CVD-покрытия из карбида тантала (TaC) может эффективно защитить графитовую подложку, обеспечивая такую же стойкость к высоким температурам, что и графит. TaC также является инертным материалом, то есть он не вступает в реакцию с такими газами, как аргон или водород, при высоких температурах.РасследованиеПокрытие CVD из карбида тантала EPI Susceptor сейчас!
После многих лет развития компания Semicera овладела технологиейССЗ TaCсовместными усилиями отдела исследований и разработок. Дефекты легко возникают в процессе роста пластин SiC, но после использованияТаС, разница существенная. Ниже приведено сравнение пластин с TaC и без него, а также деталей Simicera для выращивания монокристаллов.
с ТАК и без него
После использования TaC (справа)
Более того, компания SemiceraИзделия с покрытием TaCимеют более длительный срок службы и большую устойчивость к высоким температурам по сравнению сSiC-покрытия.Лабораторные измерения показали, что нашиTaC-покрытияможет стабильно работать при температуре до 2300 градусов по Цельсию в течение длительного времени. Ниже приведены некоторые примеры наших образцов:
