Термический оксидный слой кремниевой пластины представляет собой оксидный слой или слой кремнезема, образованный на голой поверхности кремниевой пластины в условиях высоких температур с помощью окислителя.Слой термического оксида кремниевой пластины обычно выращивается в горизонтальной трубчатой печи, а диапазон температур роста обычно составляет 900 ° C ~ 1200 ° C, и существует два режима роста: «мокрое окисление» и «сухое окисление». Слой термического оксида представляет собой «выращенный» оксидный слой, который имеет более высокую однородность и более высокую диэлектрическую прочность, чем оксидный слой, нанесенный CVD. Слой термооксида является отличным диэлектрическим слоем в качестве изолятора. Во многих устройствах на основе кремния слой термического оксида играет важную роль в качестве слоя, блокирующего легирование, и поверхностного диэлектрика.
Советы: Тип окисления
1. Сухое окисление
Кремний реагирует с кислородом, и оксидный слой перемещается в сторону базального слоя. Сухое окисление необходимо проводить при температуре от 850 до 1200 ° C, а скорость роста низкая, что можно использовать для роста изоляционного МОП-затвора. Когда требуется высококачественный ультратонкий слой оксида кремния, сухое окисление предпочтительнее мокрого окисления.
Емкость сухого окисления: 15–300 нм (150–3000 А)
2. Мокрое окисление
Этот метод использует смесь водорода и кислорода высокой чистоты для горения при температуре ~ 1000 ° C, в результате чего образуется водяной пар, образующий оксидный слой. Хотя мокрое окисление не может дать такой же высококачественный оксидный слой, как сухое окисление, но его достаточно для использования в качестве зоны изоляции, по сравнению с сухим окислением его явным преимуществом является то, что оно имеет более высокую скорость роста.
Способность к влажному окислению: 50 нм ~ 15 мкм (500 А ~ 15 мкм)
3. Сухой метод – мокрый метод – сухой метод.
В этом методе чистый сухой кислород подается в печь окисления на начальном этапе, водород добавляется в середине окисления, а водород сохраняется в конце для продолжения окисления чистым сухим кислородом с образованием более плотной окислительной структуры, чем обычный процесс влажного окисления в виде водяного пара.
4. Окисление ТЭОС
| Техника окисления | Мокрое окисление или сухое окисление |
| Диаметр | 2″ / 3″ / 4″ / 6″ / 8″ / 12″ |
| Толщина оксида | 100 Å ~ 15 мкм |
| Толерантность | +/- 5% |
| Поверхность | Одностороннее окисление (SSO) / Двухстороннее окисление (DSO) |
| Печь | Горизонтальная трубчатая печь |
| Газ | Газообразный водород и кислород |
| Температура | 900℃ ~ 1200℃ |
| Показатель преломления | 1,456 |
