Графитовые направляющие кольца с покрытием TaCотносятся к нанесению тонкого слоякарбид танталана поверхность графитового направляющего кольца для повышения его износостойкости, устойчивости к высоким температурам и химической стабильности. Это покрытие обычно формируется на поверхности графитового направляющего кольца с помощью таких методов, как физическое осаждение из паровой фазы (PVD) или химическое осаждение из паровой фазы (CVD).
Semicera предлагает специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей.Передовой процесс нанесения покрытий Semicera позволяет покрытиям из карбида тантала (TaC) достигать высокой чистоты, высокой температурной стабильности и высокой химической стойкости, улучшая качество продукции кристаллов SIC/GAN и слоев EPI (Токоприемник TaC с графитовым покрытием), а также продление срока службы ключевых компонентов реактора. Использование покрытия TaC из карбида тантала призвано решить проблему кромок и улучшить качество роста кристаллов, а компания Semicera совершила прорыв в технологии покрытия из карбида тантала (CVD), достигнув международного передового уровня.
После многих лет развития компания Semicera овладела технологиейССЗ TaCсовместными усилиями отдела исследований и разработок. Дефекты легко возникают в процессе роста пластин SiC, но после использованияТаС, разница существенная. Ниже приведено сравнение пластин с TaC и без него, а также деталей Simicera для выращивания монокристаллов.
К основным характеристикам направляющих колец из графита с покрытием TaC относятся:
1. Устойчивость к высоким температурам: покрытие TaC обладает превосходной стабильностью при высоких температурах и может сохранять стабильность в условиях высоких температур.
2. Износостойкость: высокая твердость тонкого слоя карбида тантала придает направляющему кольцу хорошую износостойкость и продлевает срок его службы.
3. Химическая стабильность: покрытие TaC обладает высокой устойчивостью к химической коррозии, что делает его пригодным для применения в некоторых агрессивных средах.
4. Уменьшение трения: покрытие TaC может эффективно снизить трение между графитовым направляющим кольцом и другими компонентами и повысить эффективность механических уплотнений.
с ТАК и без него
После использования TaC (справа)
Более того, компания SemiceraИзделия с покрытием TaCимеют более длительный срок службы и большую устойчивость к высоким температурам по сравнению сSiC-покрытия.Лабораторные измерения показали, что нашиTaC-покрытияможет стабильно работать при температуре до 2300 градусов по Цельсию в течение длительного времени. Ниже приведены некоторые примеры наших образцов:
